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用sem看的的厚度明显比afm要厚 猜测是很薄的在sem下看不到 用什么仪器可以看到啊
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luoxi88
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]
用sem看的的厚度明显比afm要厚 猜测是很薄的在sem下看不到 用什么仪器可以看到啊
已有4人参与
新手上路求诸位大神指教啊,感激不尽!
问几个纳米厚的片状材料在什么仪器下能看到 用sem看的的厚度明显比afm要厚 猜测是很薄的在sem下看不到 那在什么仪器下可以看到啊?
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1楼
2014-03-17 14:38:52
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gxytju2008
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微米和纳米
【答案】应助回帖
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几个nm肯定SEM看不了了,电子束都打穿了,如果想试试可以降低加速电压到5kv一下,比如2kv试试,如果好剥离的话可以试试TEM,看厚度的话用AFM可以想办法用刀画个线啥的,把基底露出来就知道真实厚度了
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8楼
2014-03-17 17:55:09
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peterflyer
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peterflyer
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AFM看到的应该是表面的不平度而不是截面的厚度吧?另外,要想看到的厚度尺寸准确,必须使厚度方向垂直于观察方向,若偏斜了,看到的自然比实际的要厚了。
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2楼
2014-03-17 15:04:28
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happy3236
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SEM应该能看到的,是不是分辨率不对 不行就用TEM
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3楼
2014-03-17 15:06:47
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神魔流转
木虫
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几个纳米已经超出SEM分辨能力了,用AFM就行了。
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4楼
2014-03-17 15:07:12
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