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glorylin

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17楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-03 19:44:54
用针划下就可以，这样还比较容易在AFM的光学显微镜下找到划线位置，然后再用AFM扫就可以了...

恩，就怕表层SIO2划划得不干净或者把基底硅片给划掉了。

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21楼2015-01-04 23:10:45

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exciting73

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【答案】应助回帖

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21楼: Originally posted by glorylin at 2015-01-04 23:10:45
恩，就怕表层SIO2划划得不干净或者把基底硅片给划掉了。...

要么就在张SiO2层之前先用胶带或其他材料盖住一小块，长好了SiO2之后把它揭掉就可以测量台阶高度了。

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22楼2015-01-05 08:43:53

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glorylin

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19楼: Originally posted by lyjts123 at 2015-01-04 16:42:12
如果是玻璃基底或者硅片基底，HF会腐蚀基底的，估计测不准。其实测透过率也是可以测厚度的，就是椭偏仪或者光谱仪，10纳米有点薄，但应该可以算出来。用光刻做台阶也是一种方法，总比贴胶带要好一点。或者掰断了去测 ...

非常感谢。HF会腐蚀硅片吗？应该不会吧。还有一般硅片上长氧化硅的厚度都是怎么测得到？

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23楼2015-01-05 10:08:50

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