应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上有层SiO2薄膜，用AFM测厚度该怎么制样。
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
231/3返回列表123下一页
查看: 3003  |  回复: 22
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

glorylin

金虫 (小有名气)

[求助] 在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上有层SiO2薄膜，用AFM测厚度该怎么制样。 已有11人参与

RT,在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上长了一层10nm 左右的SiO2薄膜，打算用AFM测厚度，那我该怎么制样。用针划？这样会不会把基底划破，或者Sio2薄膜能划破吗？或者利用光刻的方法制作边缘？

没做过AFM，所以完全不懂，求指教。非常感谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-12-30 11:24:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

向合电子材料

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
supernatural: 金币-5, 屏蔽内容, 违规存档, 不允许打广告！ 2014-12-30 14:29:44
本帖内容被屏蔽
2楼2014-12-30 12:27:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用HF腐蚀出一个台阶出来。
最好是光刻以后再腐蚀，因为AFM的扫描面积很小。
赞一下 回复此楼
3楼2014-12-30 17:08:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
确实AFM的扫描面积很小，用来测量厚度确实有点不太方便，其实，你只是单纯的测量厚度的话，有很多不同仪器、不同的方法进行测试，而且测量比较快，操作简单，都能够测量纳米级别的厚度。
比如薄膜测厚仪运用光学的测量方法，同时可以获得薄膜的反射光谱、透射光谱等光学参数；
再比如面阻测试仪运用电学的测量方法，同时可以获得材料的电阻值。
你可以考虑下。。。
赞一下 回复此楼
4楼2014-12-30 17:20:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nancy10214

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果腐蚀，ALD长的氧化铝很快的，BOE也可以腐蚀，不过高温退火后的氧化铝就不能被腐蚀了，所以腐蚀要在退火前进行！
赞一下 回复此楼
5楼2014-12-31 09:53:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

落地阳光

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
个人感还是用台阶仪比较好。。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
6楼2014-12-31 10:27:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zzyzxup

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
针划的话，面积过大，AFM扫描面积很小。建议用光刻，腐蚀的方法。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
努力才有未来。
7楼2014-12-31 10:30:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

glorylin

金虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by zzyzxup at 2014-12-31 10:30:40
针划的话，面积过大，AFM扫描面积很小。建议用光刻，腐蚀的方法。

谢谢，用针划后，我们应该只要找到有膜和无膜的边界处就行了吧，这个边界不是很大吧？你们说的针划的面积过大是指什么？
赞一下 回复此楼
8楼2014-12-31 17:07:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

boyshen

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
没有台阶起伏AFM就侧不了，建议椭偏仪
赞一下 回复此楼
9楼2014-12-31 17:45:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

glorylin

金虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by boyshen at 2014-12-31 17:45:12
没有台阶起伏AFM就侧不了，建议椭偏仪

是啊，就是没台阶起伏，所以要人为造出台阶（就是一边又膜，一边没膜）。AFM制样应该很成熟了吧。不是说有用针划之类的吗？或者我用光刻人为制作一个膜边缘。这样可以吗？
赞一下 回复此楼
10楼2014-12-31 18:07:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 glorylin 的主题更新
231/3返回列表123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 282求调剂 +20 ycy1201 2026-04-01 22/1100 2026-04-04 00:42 by userper
[考研] 一志愿哈尔滨工业大学085600英一数二337分求调剂 +4 lyz0427 2026-04-03 4/200 2026-04-03 23:54 by T可可西里T
[考研] 278求调剂 +5 Yy7400 2026-04-03 5/250 2026-04-03 22:01 by 心上人啊啊啊
[考研] 295求调剂 +6 FZAC123 2026-04-03 6/300 2026-04-03 21:01 by zhq0425
[考研] 270化工求调剂 +5 海苔花生饼 2026-03-28 5/250 2026-04-03 15:44 by 晴空210210
[考研] 求调剂不挑专业 +3 xrh030412 2026-04-01 3/150 2026-04-03 14:40 by 氮气气气
[考研] 085600，材料与化工321分求调剂 +12 大馋小子 2026-03-28 12/600 2026-04-03 14:16 by 百灵童888
[考研] 一志愿中国科学院大学265求调剂 +9 恬淡ye 2026-03-31 10/500 2026-04-03 11:10 by txp1986
[考研] 372分材料与化工（085600）一志愿湖南大学求调剂 +5 蓝笺片 2026-04-02 6/300 2026-04-02 21:37 by dongzh2009
[考研] 285求调剂 +8 AZMK 2026-04-02 11/550 2026-04-02 20:16 by yulian1987
[考研] 22408 266求调剂 +3 masss11222 2026-04-02 3/150 2026-04-02 18:11 by 笔落锦州
[考博] 材料工程专业硕士申博 +3 麟正宇 2026-03-30 3/150 2026-04-02 15:04 by greychen00
[考研] 求调剂推荐 +3 南山南@ 2026-04-01 3/150 2026-04-02 12:09 by xiaoranmu
[考研] 085601一志愿中山大学深圳材料工程330求调剂 +8 pipiver 2026-03-30 8/400 2026-04-02 12:01 by ms629
[考研] 327求调剂 +9 汲亦昊 2026-03-29 9/450 2026-04-02 11:44 by 运气yunqi
[考研] 材料专硕322分 +11 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-01 11/550 2026-04-02 10:52 by lnilvy
[考博] 26年申博 +3 staryer 2026-03-30 4/200 2026-04-01 23:21 by ai4pharm
[考研] 285求调剂 +7 AZMK 2026-03-30 13/650 2026-04-01 17:00 by 七度不信任
[考研] 288资源与环境专硕求调剂，不限专业，有学上就行 +25 lllllos 2026-03-30 26/1300 2026-04-01 09:52 by 一只好果子?
[考研] 070300化学专业279调剂 +10 哈哈哈^_^ 2026-03-31 10/500 2026-03-31 23:13 by liu823948201
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭