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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » DC磁控溅射 是什么种类？磁控溅射法镀膜，膜的厚度 怎么测量
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dongcunqi

木虫 (正式写手)

[求助] DC磁控溅射 是什么种类？磁控溅射法镀膜，膜的厚度 怎么测量 已有6人参与

各位好 磁控溅射法在织物上镀膜，所镀膜层的厚度 很薄 ，一般很难以测量出其厚度，应采用什么样的办法测量呢
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@yswyx

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做好自己服务他人
1楼 2014-09-12 17:07:30
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剑雨逸

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般25um(或30记不清了)以下为薄膜 可以镀膜时放置一片硅片 镀完膜 掰断 高倍sem 看断面 有专业配套测尺寸的工具 或者 奢侈一点 将试样 遮一半 镀一半 看afm 可测台阶高度 即膜厚

[ 发自小木虫客户端 ]
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7楼2014-09-13 13:38:29
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whywhy01

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
请问很薄是多少？微米以下可以用椭偏仪或者探针台测
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2楼2014-09-12 17:11:59
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果溅射的膜透光的话可以用膜厚仪和椭偏仪，不透光的可以用台阶仪。
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3楼2014-09-12 17:18:38
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dongcunqi

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by whywhy01 at 2014-09-12 17:11:59
请问很薄是多少？微米以下可以用椭偏仪或者探针台测

O(∩_∩)O谢谢，怎么形容薄呢，看起来就像在织物上数目印花打印的图案般薄，估计微米以下吧
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做好自己服务他人
4楼2014-09-13 11:38:22
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