24小时热门版块排行榜    

查看: 2490  |  回复: 8

dongcunqi

木虫 (正式写手)

[求助] DC磁控溅射 是什么种类?磁控溅射法镀膜,膜的厚度 怎么测量 已有6人参与

各位好 磁控溅射法在织物上镀膜,所镀膜层的厚度 很薄 ,一般很难以测量出其厚度,应采用什么样的办法测量呢
回复此楼

» 本帖@通知

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

做好自己服务他人
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

whywhy01

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
请问很薄是多少?微米以下可以用椭偏仪或者探针台测
2楼2014-09-12 17:11:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果溅射的膜透光的话可以用膜厚仪和椭偏仪,不透光的可以用台阶仪。
3楼2014-09-12 17:18:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dongcunqi

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by whywhy01 at 2014-09-12 17:11:59
请问很薄是多少?微米以下可以用椭偏仪或者探针台测

O(∩_∩)O谢谢,怎么形容薄呢,看起来就像在织物上数目印花打印的图案般薄,估计微米以下吧
做好自己服务他人
4楼2014-09-13 11:38:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

被理想叫醒

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
在镀膜的时候可以用一小块盖玻片那样的玻璃盖住一个角,就可以留下一个台阶,然后可以用台阶仪测膜厚
5楼2014-09-13 11:38:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

765365884

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
最简单就是称质量

[ 发自小木虫客户端 ]
用2B铅笔描绘2B人生!
6楼2014-09-13 13:18:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

剑雨逸

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般25um(或30记不清了)以下为薄膜 可以镀膜时放置一片硅片 镀完膜 掰断 高倍sem 看断面 有专业配套测尺寸的工具 或者 奢侈一点 将试样 遮一半 镀一半 看afm 可测台阶高度 即膜厚

[ 发自小木虫客户端 ]
7楼2014-09-13 13:38:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dongcunqi

木虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 剑雨逸 at 2014-09-13 13:38:29
一般25um(或30记不清了)以下为薄膜 可以镀膜时放置一片硅片 镀完膜 掰断 高倍sem 看断面 有专业配套测尺寸的工具 或者 奢侈一点 将试样 遮一半 镀一半 看afm 可测台阶高度 即膜厚
...

谢谢 O(∩_∩)O~  ,感谢帮助
做好自己服务他人
8楼2014-09-13 17:21:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wtm_AE

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

透光膜层可以采用椭偏仪(不接触式的),
QQ:1723046531
9楼2017-08-23 09:43:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 dongcunqi 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂 +6 十三加油 2026-03-21 6/300 2026-03-22 17:00 by i_cooler
[考研] 一志愿中南化学(0703)总分337求调剂 +9 niko- 2026-03-19 10/500 2026-03-22 16:08 by ColorlessPI
[考研] 298求调剂一志愿211 +3 上岸6666@ 2026-03-20 3/150 2026-03-22 15:50 by ColorlessPI
[考研] 275求调剂 +6 shansx 2026-03-22 8/400 2026-03-22 15:27 by barlinike
[考研] 能源材料化学课题组招收硕士研究生8-10名 +5 脱颖而出 2026-03-16 17/850 2026-03-22 15:18 by 脱颖而出
[考研] 考研调剂 +4 来好运来来来 2026-03-21 4/200 2026-03-22 12:15 by 星空星月
[考研] 0856材料专硕353求调剂 +4 NIFFFfff 2026-03-20 4/200 2026-03-22 09:49 by 2026paper
[考研] 085600材料与化工306 +4 z1z2z3879 2026-03-21 4/200 2026-03-21 23:44 by ms629
[考研] 求调剂 +3 白QF 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:12 by zhukairuo
[考研] 265求调剂 +3 Jack?k?y 2026-03-17 3/150 2026-03-21 03:17 by JourneyLucky
[考研] 265求调剂 +9 梁梁校校 2026-03-17 9/450 2026-03-21 02:17 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南昌大学,327分,材料与化工085600 +9 Ncdx123456 2026-03-19 9/450 2026-03-20 23:41 by lovewei0727
[考研] 考研调剂求学校推荐 +3 伯乐29 2026-03-18 5/250 2026-03-20 22:59 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工 +8 安全上岸! 2026-03-16 8/400 2026-03-20 22:13 by luoyongfeng
[考研] 295材料求调剂,一志愿武汉理工085601专硕 +5 Charlieyq 2026-03-19 5/250 2026-03-20 20:35 by JourneyLucky
[考研] 材料学求调剂 +4 Stella_Yao 2026-03-20 4/200 2026-03-20 20:28 by ms629
[论文投稿] 申请回稿延期一个月,编辑同意了。但系统上的时间没变,给编辑又写邮件了,没回复 10+3 wangf9518 2026-03-17 4/200 2026-03-19 23:55 by babero
[考研] 0703化学调剂 +4 18889395102 2026-03-18 4/200 2026-03-19 16:13 by 30660438
[考研] 085601求调剂 +4 Du.11 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:08 by ruiyingmiao
[考研] 有没有道铁/土木的想调剂南林,给自己招师弟中~ +3 TqlXswl 2026-03-16 7/350 2026-03-17 15:23 by TqlXswl
信息提示
请填处理意见