应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 磁控反应溅射Mg/Zn靶材辉光不稳定问题。
81/1返回列表
查看: 2411  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

张陈陈张

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控反应溅射Mg/Zn靶材辉光不稳定问题。 已有1人参与

磁控溅射实验中，采用的是氩气和氧气混合进行溅射金属靶材Zn,Mg,用来生长ZnMgO合金薄膜。发现在单个金属靶材溅射时候，发现辉光稳定，但是一旦共溅射之后，两个金属靶材辉光都变得不稳定。在5.0Pa(电阻档下真空计读数）。以前在这个压强下是可以正常进行的。当我减小压强，氩气和氧气流量不变情况，共溅射辉光就变稳定。这写可能得原因是什么？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-04-22 17:39:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
也可能是两个磁场相互作用导致的不稳定，可以在靶上套上铁皮套试试
赞一下 回复此楼
hopeisagoodthing........
2楼2014-04-23 18:50:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

张陈陈张

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yanglei839 at 2014-04-23 18:50:19
也可能是两个磁场相互作用导致的不稳定，可以在靶上套上铁皮套试试

你是说阳极屏蔽罩没有屏蔽作用了？可我有换过一个阳极屏蔽罩啊~~
赞一下 回复此楼
3楼2014-04-24 08:56:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫

【答案】应助回帖

你用的是直流还是射频？
赞一下 回复此楼
hopeisagoodthing........
4楼2014-04-24 20:11:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

风舞灵动

铜虫 (小有名气)
屏蔽罩与下面金属间留的空隙足够吗？匹配器接头是否正确？溅射仪接头和功率是否正常呢？
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2014-04-24 23:51:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

张陈陈张

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yanglei839 at 2014-04-24 20:11:56
你用的是直流还是射频？

射频~~我在想，有没有可能是两个靶材底座位置的不恰当，导致他们相互之间存在磁场什么的叠加，引起这种射频干扰问题？
赞一下 回复此楼
6楼2014-04-26 11:51:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

张陈陈张

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yanglei839 at 2014-04-23 18:50:19
也可能是两个磁场相互作用导致的不稳定，可以在靶上套上铁皮套试试

对了~~想问下，两个靶材底座的安装位置，比如说高度、相对角度会引起他们之间磁场的相、相互作用么？
赞一下 回复此楼
7楼2014-04-26 11:54:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

知夏爱夏天

金虫 (小有名气)
请问Mg靶可以用来溅射Mg膜吗，你

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
8楼2018-09-21 19:15:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 张陈陈张 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 专硕0854初试考材科基，求调剂 +7 3220548044 2026-04-06 10/500 2026-04-08 21:59 by hypershenger
[考研] 化学0703-一志愿211-338分求调剂 +10 vants 2026-04-05 11/550 2026-04-08 16:02 by screening
[考研] 材料调剂 +19 一样YWY 2026-04-02 20/1000 2026-04-08 11:02 by 不吃魚的貓
[考研] 304求调剂 +10 素年祭语 2026-04-06 17/850 2026-04-08 09:05 by 蓝云思雨
[考研] 化学调剂 +18 艾志恒 2026-04-03 19/950 2026-04-07 16:00 by 起飞的比熊1
[考研] 22408 318分求调剂 +4 勤奋的小笼包 2026-04-06 6/300 2026-04-07 15:05 by 纸鹤555
[考研] 0703调剂 +16 拾玖壹 2026-04-04 18/900 2026-04-07 12:49 by flydream1314
[考研] 生物学学硕求调剂：351分一志愿南京师范大学生物学专业 +6 …～、王…～ 2026-04-06 7/350 2026-04-06 18:54 by macy2011
[考研] 一志愿C9的化学工程（085602） 340分，感觉校内调剂无望，求调剂 +12 万事宜臻 2026-04-04 12/600 2026-04-06 07:46 by 无际的草原
[考研] 0703求调剂383分 +9 W55j 2026-04-03 9/450 2026-04-06 06:50 by houyaoxu
[考研] 材料调剂 +14 壹贰贰亿 2026-04-04 14/700 2026-04-05 23:31 by 来看流星雨10
[考研] 296求调剂 +3 汪！？！ 2026-04-05 4/200 2026-04-05 20:13 by 啵啵啵0119
[考研] 材料专硕(0856) 339分求调剂 +10 哈哈哈鹅哈哈哈 2026-04-04 10/500 2026-04-05 18:51 by 蓝云思雨
[考研] 272求调剂 +4 电气李 2026-04-05 4/200 2026-04-05 10:41 by lbsjt
[考研] 311分 22408 求调剂 +3 bing_bot 2026-04-03 3/150 2026-04-05 00:43 by chongya
[考研] 调剂 +9 19945159693 2026-04-03 10/500 2026-04-04 20:16 by dongzh2009
[考研] 求调剂 +6 朔朔话 2026-04-02 7/350 2026-04-04 19:16 by 蓝云思雨
[考研] 一志愿南农090401，268，求调剂 +5 一木鸟然 2026-04-04 5/250 2026-04-04 17:07 by babysonlkd
[考研] 348分环境工程·调剂 +10 吴彦祖24k 2026-04-03 11/550 2026-04-04 14:19 by 无际的草原
[考研] 275学硕081000服从调剂到其他专业，保不住本专业了 +7 一只小小水牛 2026-04-02 8/400 2026-04-02 14:23 by alice-2022
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭