| 查看: 2394 | 回复: 7 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
张陈陈张管理员
|
[求助]
磁控反应溅射Mg/Zn靶材辉光不稳定问题。 已有1人参与
|
|||
| 磁控溅射实验中，采用的是氩气和氧气混合进行溅射金属靶材Zn,Mg,用来生长ZnMgO合金薄膜。发现在单个金属靶材溅射时候，发现辉光稳定，但是一旦共溅射之后，两个金属靶材辉光都变得不稳定。在5.0Pa(电阻档下真空计读数）。以前在这个压强下是可以正常进行的。当我减小压强，氩气和氧气流量不变情况，共溅射辉光就变稳定。这写可能得原因是什么？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 | PVD镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
已经有16人回复
- 求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！
已经有13人回复
- 磁控溅射中可见光波段折射率在4左右，透射率高点的靶材
已经有3人回复
- MgF2,LiF做磁控溅射用靶材是否有毒
已经有5人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
已经有18人回复
- 磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？
已经有20人回复
- 磁控溅射换靶材之后功率变化很大？
已经有8人回复
- 如何在硅片上长300nm的Si02层
已经有12人回复
- 直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？
已经有7人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 磁控溅射镀膜时对靶材纯度要求
已经有7人回复
- 磁控溅射靶材bondig
已经有14人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【求助】磁控溅射靶材的磁性强弱对溅射的影响
已经有3人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
8楼2018-09-21 19:15:09
yanglei839
版主
木虫
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 1084.1
- 红花: 2
- 帖子: 343
- 在线: 216小时
- 虫号: 802553
- 注册: 2009-07-02
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类电介质与电解
2楼2014-04-23 18:50:19
张陈陈张
版主
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 107.1
- 散金: 22
- 红花: 3
- 帖子: 54
- 在线: 31.9小时
- 虫号: 1222519
- 注册: 2011-03-05
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2014-04-24 08:56:27
yanglei839
兑换贵宾
木虫
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 1084.1
- 红花: 2
- 帖子: 343
- 在线: 216小时
- 虫号: 802553
- 注册: 2009-07-02
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类电介质与电解
4楼2014-04-24 20:11:56
