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等离子体刻蚀光刻胶没有效果？ 已有1人参与
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我用筒形反应器的刻蚀系统，等离子体刻蚀光刻胶，离子气源是氧气O2。但是没有效果，是什么原因啊？ 另外，在文献示意图中，金属支架（metallic support）是什么作用？我刻蚀的时候是直接将样品放置在玻璃板上面。  plasma.png |
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金属材料论文润色/翻译怎么收费?
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yswyx 
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2楼2014-01-20 15:22:39
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