24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1057  |  回复: 1

lwb009

铁虫 (初入文坛)

[求助] 等离子体刻蚀光刻胶没有效果? 已有1人参与

我用筒形反应器的刻蚀系统,等离子体刻蚀光刻胶,离子气源是氧气O2。但是没有效果,是什么原因啊?
另外,在文献示意图中,金属支架(metallic support)是什么作用?我刻蚀的时候是直接将样品放置在玻璃板上面。
等离子体刻蚀光刻胶没有效果?
plasma.png
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
什么样的等离子体?射频的还是微波的?功率多少?
什么样的光刻胶?型号,厚度,前面做了什么工艺?
不是什么都能可是掉的……
2楼2014-01-20 15:22:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lwb009 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 296求调剂 +10 彼岸t 2026-03-29 10/500 2026-03-30 10:50 by 探123
[考研] 300求调剂,材料科学英一数二 +14 leaflight 2026-03-24 14/700 2026-03-30 10:46 by 晴空210210
[考研] 0703本科郑州大学求调剂 +5 nhj_ 2026-03-25 5/250 2026-03-30 10:37 by 20021109
[考研] 085600 286分 材料求调剂 +10 麻辣鱿鱼 2026-03-27 11/550 2026-03-29 21:52 by nanaliuyun
[考研] 307求调剂 +9 超级伊昂大王 2026-03-24 10/500 2026-03-29 20:26 by 永字号
[考研] 322求调剂 +5 旧吢 2026-03-24 5/250 2026-03-28 13:26 by Iveryant
[考研] 286求调剂 +12 PolarBear11 2026-03-26 12/600 2026-03-28 12:14 by zllcz
[考研] 调剂 +3 好好读书。 2026-03-28 3/150 2026-03-28 12:04 by 王保杰33
[考研] 070300化学求调剂 +4 起个名咋这么难 2026-03-27 4/200 2026-03-27 21:39 by 83503孙老师
[考研] 287求调剂 +10 land xuxu 2026-03-26 10/500 2026-03-27 15:33 by 帕尔马拉特
[考研] 274求调剂 +17 顾九笙要谦虚 2026-03-24 23/1150 2026-03-27 15:16 by caszguilin
[考研] 材料求调剂 +5 .m.. 2026-03-25 5/250 2026-03-27 11:08 by 不吃魚的貓
[考研] 总分322求生物学/生化与分子/生物信息学相关调剂 +5 星沉uu 2026-03-26 6/300 2026-03-26 19:02 by macy2011
[考研] 打过很多竞赛,085406控制工程300分,求调剂 +3 askeladz 2026-03-26 3/150 2026-03-26 09:08 by 给你你注意休息
[考研] 26考研-291分-厦门大学(085601)-柔性电子学院材料工程专业求调剂 +3 min3 2026-03-24 4/200 2026-03-25 18:22 by xcjcqu
[考研] 【2026考研调剂】制药工程 284分 求相关专业调剂名额 +4 袁奂奂 2026-03-25 8/400 2026-03-25 14:32 by lbsjt
[考研] 285求调剂 +3 AZMK 2026-03-24 3/150 2026-03-25 12:23 by userper
[考研] 一志愿吉林大学材料与化工303分求调剂 +4 为学666 2026-03-24 4/200 2026-03-25 11:27 by BruceLiu320
[考研] 300分,材料,求调剂,英一数二 +5 超赞的 2026-03-24 5/250 2026-03-24 21:07 by 星空星月
[考研] 调剂 +4 13853210211 2026-03-24 4/200 2026-03-24 19:44 by ms629
信息提示
请填处理意见