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lwb009

铁虫 (初入文坛)

[求助] 等离子体刻蚀光刻胶没有效果？ 已有1人参与

我用筒形反应器的刻蚀系统，等离子体刻蚀光刻胶，离子气源是氧气O2。但是没有效果，是什么原因啊？
另外，在文献示意图中，金属支架（metallic support）是什么作用？我刻蚀的时候是直接将样品放置在玻璃板上面。
等离子体刻蚀光刻胶没有效果？
plasma.png
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1楼 2014-01-18 18:39:13
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
什么样的等离子体？射频的还是微波的？功率多少？
什么样的光刻胶？型号，厚度，前面做了什么工艺？
不是什么都能可是掉的……
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2楼2014-01-20 15:22:39
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