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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 大家有没有用辊式涂胶机涂胶的，有什么什么诀窍可以使光刻胶涂均匀
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zgfbb

铁虫 (初入文坛)

[求助] 大家有没有用辊式涂胶机涂胶的，有什么什么诀窍可以使光刻胶涂均匀

大家有没有用辊式涂胶机涂胶的，有什么什么诀窍可以使光刻胶涂均匀，现在老是涂不均匀很郁闷。
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1楼 2012-05-22 16:37:32
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chuichuifeng

金虫 (正式写手)

博学

【答案】应助回帖

★ ★ ★
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-02-06 23:44:53
我也在研究涂布工艺，现在光刻胶涂布都采用slit die 工艺，应该是狭缝挤出涂布工艺，为什么要用辊涂呢？
辊涂跟很多参数有关，车速，表面张力，粘度，辊与基片的距离等，干燥方式也是很大的问题。
看到后我们可以一起交流。站内消息，我几乎每天都上的
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学尽天下知识
2楼2013-02-05 09:40:00
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q1635068839

银虫 (正式写手)
弱弱问一句，楼主不会是微电子制造专业的吧？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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当初以为先设置账号再进来设置汉语昵称呢，我叫烟雨罐头。
3楼2013-02-06 15:27:30
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cloudfeng

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chuichuifeng at 2013-02-05 09:40:00
我也在研究涂布工艺，现在光刻胶涂布都采用slit die 工艺，应该是狭缝挤出涂布工艺，为什么要用辊涂呢？
辊涂跟很多参数有关，车速，表面张力，粘度，辊与基片的距离等，干燥方式也是很大的问题。
看到后我们可以 ...

您好，您做过尺寸在300mm以上的基片涂胶吗
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4楼2013-10-08 11:01:58
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chuichuifeng

金虫 (正式写手)

博学
引用回帖:
4楼: Originally posted by cloudfeng at 2013-10-08 11:01:58
您好，您做过尺寸在300mm以上的基片涂胶吗...

做过，就是300mm的宽度，在中国最先进的涂布机上做的
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学尽天下知识
5楼2013-10-12 16:03:07
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eric098

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by chuichuifeng at 2013-10-12 16:03:07
做过，就是300mm的宽度，在中国最先进的涂布机上做的...

目前最先进的涂布机，可以涂布多少UM厚的胶啊
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6楼2015-08-13 20:53:02
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hcquan

金虫 (小有名气)
转速，转速要求均匀、平稳；片子是否在转轴中心？；此外，关键是滴胶时是否由中间往四周滴，一般只在中间滴（但两边会厚些，但不会四同不平）
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7楼2015-08-14 17:47:19
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