24小时热门版块排行榜    

查看: 1640  |  回复: 12

hqh2012

新虫 (小有名气)


[交流] 高手指点----有关旋涂

二氧化硅旋转涂胶仪旋涂时看到同心圆且无六臂。旋涂后表面不光滑,看似有颗粒状东西在上面,看到有颜色,斑驳。这是何原因?求高手指点,不胜感激!!!!!

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★
hqh2012: 金币+2, 谢谢!望继续帮助 2012-05-16 10:58:02
同心圆是不是象水波纹一样从圆心处逐渐向外扩散到边缘?
表面处理干净了吗?

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
3楼2012-05-15 23:39:20
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)


胶粘度高吗?

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
4楼2012-05-15 23:41:00
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hqh2012

新虫 (小有名气)


引用回帖:
3楼: Originally posted by hongliushu03 at 2012-05-15 23:39:20:
同心圆是不是象水波纹一样从圆心处逐渐向外扩散到边缘?
表面处理干净了吗?

是的,在旋转时像波纹一样的一个个同心圆。硅片表面用洗液清洗后氮气吹扫的。然后用表面处理剂处理硅片,乙醇清洗的。敢问大侠是否曾遇到类似问题?给指点下呗,不胜感激!
5楼2012-05-16 10:56:27
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)


有可能是清洗不彻底,或者表面浸润性不好导致的
6楼2012-05-16 12:44:08
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)


硅片的清洗有一套特殊的流程,不知道的清洗液是什么成分。
不过常我用的清洗流程是:
乙醇超声清洗20min, 丙酮超声清洗20min,去离子水漂洗,浓硫酸三份加一份双氧水80摄氏度超声清洗至硅片表面无气泡,去离子水漂洗,20%的稀氢氟酸溶液去掉表面氧化层,去子离子水漂洗干净后放在乙醇中备用(每一片单独存放,存放时间不要太长)。
7楼2012-05-16 12:48:16
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hqh2012

新虫 (小有名气)


引用回帖:
7楼: Originally posted by hongliushu03 at 2012-05-16 12:48:16:
硅片的清洗有一套特殊的流程,不知道的清洗液是什么成分。
不过常我用的清洗流程是:
乙醇超声清洗20min, 丙酮超声清洗20min,去离子水漂洗,浓硫酸三份加一份双氧水80摄氏度超声清洗至硅片表面无气泡,去离子 ...

用20%的HF 去掉表面氧化层,为什么要这样做?会导致表面不光滑吗?然后这样就可以旋涂了吗?
8楼2012-05-16 19:14:06
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)



hqh2012: 金币+1, 谢谢 2012-05-17 09:26:36
这个氧化层也就几个原子的厚度,抛光硅片用上述方法处理后表面粗糙度在纳米量级

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
9楼2012-05-16 19:36:54
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hqh2012

新虫 (小有名气)


引用回帖:
9楼: Originally posted by hongliushu03 at 2012-05-16 19:36:54:
这个氧化层也就几个原子的厚度,抛光硅片用上述方法处理后表面粗糙度在纳米量级

再麻烦大侠,清洗完毕后,硅片表面不用再用其他东西处理就可以旋涂了吗?还是有硅表面处理剂,如何操作?不胜感激!
11楼2012-05-17 09:29:03
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ssxliudc

木虫 (正式写手)



hqh2012: 金币+1, 非常感谢您的提醒! 2012-05-18 08:35:00
溶胶配制均匀吗?超声除起泡,过滤除杂质,如果粘性大,同心圆应该正常。
13楼2012-05-17 23:56:28
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
2012-05-14 20:15  
2012-05-16 22:14  
祝福祝福
hqh201212楼
2012-05-17 21:48  
引用回帖:
10楼: Originally posted by yingying1588 at 2012-05-16 22:14:46: 祝福祝福

相关版块跳转 我要订阅楼主 hqh2012 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +4 yuleib84 2026-08-18 5/250 2026-08-18 14:25 by 学员tGYWa5
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +45 医学老男孩 2026-08-13 101/5050 2026-08-18 13:40 by 医学老男孩
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +13 Ldrop2023 2026-08-13 16/800 2026-08-18 12:25 by 淀粉搬运工
[基金申请] 2027广东省杰青 +3 奶牛小黑 2026-08-15 8/400 2026-08-18 11:47 by gltch
[基金申请] 快农历七夕节了,轻松一下,男人悄悄话,女施主请不要进来。 +4 Tide man 2026-08-14 5/250 2026-08-18 11:35 by Tide man
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 5/250 2026-08-18 11:25 by 無關想念
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +5 基诺咪客 2026-08-17 6/300 2026-08-18 11:06 by hunter无悔
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +8 wangze12014 2026-08-14 10/500 2026-08-17 17:05 by xter9665
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +8 zju2000 2026-08-16 9/450 2026-08-17 12:20 by lmz0216
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 26/1300 2026-08-16 12:35 by 启萌科技
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 各位道友,我要去昆明玩几天,回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
信息提示
请填处理意见