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hqh2012

新虫 (小有名气)

[交流] 高手指点----有关旋涂

二氧化硅旋转涂胶仪旋涂时看到同心圆且无六臂。旋涂后表面不光滑，看似有颗粒状东西在上面，看到有颜色，斑驳。这是何原因？求高手指点，不胜感激！！！！！
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1楼 2012-05-14 19:29:25
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
hqh2012: 金币+2, 谢谢！望继续帮助 2012-05-16 10:58:02
同心圆是不是象水波纹一样从圆心处逐渐向外扩散到边缘？
表面处理干净了吗?

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
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3楼2012-05-15 23:39:20
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
胶粘度高吗?

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
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4楼2012-05-15 23:41:00
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hqh2012

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hongliushu03 at 2012-05-15 23:39:20:
同心圆是不是象水波纹一样从圆心处逐渐向外扩散到边缘？
表面处理干净了吗?

是的，在旋转时像波纹一样的一个个同心圆。硅片表面用洗液清洗后氮气吹扫的。然后用表面处理剂处理硅片，乙醇清洗的。敢问大侠是否曾遇到类似问题？给指点下呗，不胜感激！
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5楼2012-05-16 10:56:27
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
有可能是清洗不彻底，或者表面浸润性不好导致的
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6楼2012-05-16 12:44:08
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
硅片的清洗有一套特殊的流程，不知道的清洗液是什么成分。
不过常我用的清洗流程是：
乙醇超声清洗20min， 丙酮超声清洗20min，去离子水漂洗，浓硫酸三份加一份双氧水80摄氏度超声清洗至硅片表面无气泡，去离子水漂洗，20%的稀氢氟酸溶液去掉表面氧化层，去子离子水漂洗干净后放在乙醇中备用（每一片单独存放，存放时间不要太长）。
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7楼2012-05-16 12:48:16
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hqh2012

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by hongliushu03 at 2012-05-16 12:48:16:
硅片的清洗有一套特殊的流程，不知道的清洗液是什么成分。
不过常我用的清洗流程是：
乙醇超声清洗20min， 丙酮超声清洗20min，去离子水漂洗，浓硫酸三份加一份双氧水80摄氏度超声清洗至硅片表面无气泡，去离子 ...

用20%的HF 去掉表面氧化层，为什么要这样做？会导致表面不光滑吗？然后这样就可以旋涂了吗？
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8楼2012-05-16 19:14:06
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
★
hqh2012: 金币+1, 谢谢 2012-05-17 09:26:36
这个氧化层也就几个原子的厚度，抛光硅片用上述方法处理后表面粗糙度在纳米量级

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9楼2012-05-16 19:36:54
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hqh2012

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by hongliushu03 at 2012-05-16 19:36:54:
这个氧化层也就几个原子的厚度，抛光硅片用上述方法处理后表面粗糙度在纳米量级

再麻烦大侠，清洗完毕后，硅片表面不用再用其他东西处理就可以旋涂了吗？还是有硅表面处理剂，如何操作？不胜感激！
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11楼2012-05-17 09:29:03
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ssxliudc

木虫 (正式写手)
★
hqh2012: 金币+1, 非常感谢您的提醒！ 2012-05-18 08:35:00
溶胶配制均匀吗？超声除起泡，过滤除杂质，如果粘性大，同心圆应该正常。
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13楼2012-05-17 23:56:28
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strive1231232楼
2012-05-14 20:15  
yingying158810楼
2012-05-16 22:14  
祝福祝福
hqh201212楼
2012-05-17 21:48  
引用回帖:
10楼: Originally posted by yingying1588 at 2012-05-16 22:14:46: 祝福祝福

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