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hqh2012

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 955.5
帖子: 190
在线: 61.7小时
虫号: 1120626

[交流] 高手指点----有关旋涂

二氧化硅旋转涂胶仪旋涂时看到同心圆且无六臂。旋涂后表面不光滑，看似有颗粒状东西在上面，看到有颜色，斑驳。这是何原因？求高手指点，不胜感激！！！！！

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1楼 2012-05-14 19:29:25

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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 19 (小学生)
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帖子: 1397
在线: 278.2小时
虫号: 264984

硅片的清洗有一套特殊的流程，不知道的清洗液是什么成分。
不过常我用的清洗流程是：
乙醇超声清洗20min，丙酮超声清洗20min，去离子水漂洗，浓硫酸三份加一份双氧水80摄氏度超声清洗至硅片表面无气泡，去离子水漂洗，20%的稀氢氟酸溶液去掉表面氧化层，去子离子水漂洗干净后放在乙醇中备用（每一片单独存放，存放时间不要太长）。