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hqh2012

新虫 (小有名气)

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[交流] 高手指点----有关旋涂

二氧化硅旋转涂胶仪旋涂时看到同心圆且无六臂。旋涂后表面不光滑，看似有颗粒状东西在上面，看到有颜色，斑驳。这是何原因？求高手指点，不胜感激！！！！！

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1楼 2012-05-14 19:29:25

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hqh2012

新虫 (小有名气)

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引用回帖:

7楼: Originally posted by hongliushu03 at 2012-05-16 12:48:16:
硅片的清洗有一套特殊的流程，不知道的清洗液是什么成分。
不过常我用的清洗流程是：
乙醇超声清洗20min，丙酮超声清洗20min，去离子水漂洗，浓硫酸三份加一份双氧水80摄氏度超声清洗至硅片表面无气泡，去离子 ...

用20%的HF 去掉表面氧化层，为什么要这样做？会导致表面不光滑吗？然后这样就可以旋涂了吗？