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hqh2012

新虫 (小有名气)

[交流] 高手指点----有关旋涂

二氧化硅旋转涂胶仪旋涂时看到同心圆且无六臂。旋涂后表面不光滑，看似有颗粒状东西在上面，看到有颜色，斑驳。这是何原因？求高手指点，不胜感激！！！！！
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1楼 2012-05-14 19:29:25
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
★
hqh2012: 金币+1, 谢谢 2012-05-17 09:26:36
这个氧化层也就几个原子的厚度，抛光硅片用上述方法处理后表面粗糙度在纳米量级

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
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9楼2012-05-16 19:36:54
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
hqh2012: 金币+2, 谢谢！望继续帮助 2012-05-16 10:58:02
同心圆是不是象水波纹一样从圆心处逐渐向外扩散到边缘？
表面处理干净了吗?

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
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3楼2012-05-15 23:39:20
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
胶粘度高吗?

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
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4楼2012-05-15 23:41:00
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hqh2012

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hongliushu03 at 2012-05-15 23:39:20:
同心圆是不是象水波纹一样从圆心处逐渐向外扩散到边缘？
表面处理干净了吗?

是的，在旋转时像波纹一样的一个个同心圆。硅片表面用洗液清洗后氮气吹扫的。然后用表面处理剂处理硅片，乙醇清洗的。敢问大侠是否曾遇到类似问题？给指点下呗，不胜感激！
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5楼2012-05-16 10:56:27
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hqh201212楼
2012-05-17 21:48  
引用回帖:
10楼: Originally posted by yingying1588 at 2012-05-16 22:14:46: 祝福祝福

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