24小时热门版块排行榜    

查看: 2849  |  回复: 6

zgfbb

铁虫 (初入文坛)


[求助] 大家有没有用辊式涂胶机涂胶的,有什么什么诀窍可以使光刻胶涂均匀

大家有没有用辊式涂胶机涂胶的,有什么什么诀窍可以使光刻胶涂均匀,现在老是涂不均匀很郁闷。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chuichuifeng

金虫 (正式写手)

博学

【答案】应助回帖

★ ★ ★
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-02-06 23:44:53
我也在研究涂布工艺,现在光刻胶涂布都采用slit die 工艺,应该是狭缝挤出涂布工艺,为什么要用辊涂呢?
辊涂跟很多参数有关,车速,表面张力,粘度,辊与基片的距离等,干燥方式也是很大的问题。
看到后我们可以一起交流。站内消息,我几乎每天都上的
学尽天下知识
2楼2013-02-05 09:40:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

q1635068839

银虫 (正式写手)

弱弱问一句,楼主不会是微电子制造专业的吧?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
当初以为先设置账号再进来设置汉语昵称呢,我叫烟雨罐头。
3楼2013-02-06 15:27:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cloudfeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by chuichuifeng at 2013-02-05 09:40:00
我也在研究涂布工艺,现在光刻胶涂布都采用slit die 工艺,应该是狭缝挤出涂布工艺,为什么要用辊涂呢?
辊涂跟很多参数有关,车速,表面张力,粘度,辊与基片的距离等,干燥方式也是很大的问题。
看到后我们可以 ...

您好,您做过尺寸在300mm以上的基片涂胶吗
4楼2013-10-08 11:01:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chuichuifeng

金虫 (正式写手)

博学

引用回帖:
4楼: Originally posted by cloudfeng at 2013-10-08 11:01:58
您好,您做过尺寸在300mm以上的基片涂胶吗...

做过,就是300mm的宽度,在中国最先进的涂布机上做的
学尽天下知识
5楼2013-10-12 16:03:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

eric098

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by chuichuifeng at 2013-10-12 16:03:07
做过,就是300mm的宽度,在中国最先进的涂布机上做的...

目前最先进的涂布机,可以涂布多少UM厚的胶啊
6楼2015-08-13 20:53:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hcquan

金虫 (小有名气)

转速,转速要求均匀、平稳;片子是否在转轴中心?;此外,关键是滴胶时是否由中间往四周滴,一般只在中间滴(但两边会厚些,但不会四同不平)
7楼2015-08-14 17:47:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zgfbb 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 0XLacIJUOj8D 2026-08-24 3/150 2026-08-25 01:47 by BZKMTicpDhFj
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +7 图啦图啦 2026-08-24 8/400 2026-08-24 22:00 by maomao_da
[论文投稿] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 0XLacIJUOj8D 2026-08-24 3/150 2026-08-24 21:59 by BZKMTicpDhFj
[基金申请] 人气不行了 +10 fansofjerry 2026-08-21 10/500 2026-08-24 21:03 by zhanghaozhu
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +21 koalala 2026-08-24 24/1200 2026-08-24 19:25 by 家与远方
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +14 ziyangfang 2026-08-19 17/850 2026-08-24 18:37 by 哈哈蛤?
[基金申请] 估计是周四 +4 archvillain 2026-08-18 4/200 2026-08-24 13:53 by zzuzxg
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +6 炎黄贵胄 2026-08-22 7/350 2026-08-24 11:58 by 6543yes
[基金申请] 让我中一个面上吧! +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[基金申请] 放榜前的不淡定 20+4 snowwithsea 2026-08-19 17/850 2026-08-24 10:20 by echo8914667
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办? +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 今天放榜吗? +15 布布和一二 2026-08-19 16/800 2026-08-23 09:55 by 张春生
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +24 yaoyewhu2008 2026-08-20 26/1300 2026-08-22 17:43 by kammury
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧? +4 哈哈蛤? 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
请填处理意见