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zgfbb

铁虫 (初入文坛)

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[求助] 大家有没有用辊式涂胶机涂胶的，有什么什么诀窍可以使光刻胶涂均匀

大家有没有用辊式涂胶机涂胶的，有什么什么诀窍可以使光刻胶涂均匀，现在老是涂不均匀很郁闷。

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1楼2012-05-22 16:37:32

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cloudfeng

木虫 (小有名气)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by chuichuifeng at 2013-02-05 09:40:00
我也在研究涂布工艺，现在光刻胶涂布都采用slit die 工艺，应该是狭缝挤出涂布工艺，为什么要用辊涂呢？
辊涂跟很多参数有关，车速，表面张力，粘度，辊与基片的距离等，干燥方式也是很大的问题。
看到后我们可以 ...

您好，您做过尺寸在300mm以上的基片涂胶吗

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4楼2013-10-08 11:01:58

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