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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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lwb009

铁虫 (初入文坛)

[求助] 等离子体刻蚀光刻胶没有效果? 已有1人参与

我用筒形反应器的刻蚀系统,等离子体刻蚀光刻胶,离子气源是氧气O2。但是没有效果,是什么原因啊?
另外,在文献示意图中,金属支架(metallic support)是什么作用?我刻蚀的时候是直接将样品放置在玻璃板上面。
等离子体刻蚀光刻胶没有效果?
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yswyx

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
什么样的等离子体?射频的还是微波的?功率多少?
什么样的光刻胶?型号,厚度,前面做了什么工艺?
不是什么都能可是掉的……
2楼2014-01-20 15:22:39
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