| 查看: 2994 | 回复: 13 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
cheadache捐助贵宾 (初入文坛)
|
[求助]
求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！ 已有1人参与
|
||
|
一直用磁控溅射在石英玻璃上镀铬-金膜做为导电层，一般功率为200w ，工作电流430MA,电压450v。 在老金靶用完之后，我更换一个了金靶，功率不变，工作电流变为410MA,电压480v，其它参数没任何变化，但是膜层的质量严重下降，镀膜后石英器件的振动品质因数也下降的很明显。 我只更换了金靶，没更改任何参数设置，为何造成这么大的变化啊。 金靶应该是没有问题的，之前用别的磁控溅射设备镀膜没有任何问题。 [ Last edited by cheadache on 2013-6-28 at 19:05 ] |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 真空镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
速度碾压： 量子解码速度远超传统 MWPM 方法，提升可达 数百至千倍
已经有0人回复
-
非全博士求助
已经有18人回复
-
机械工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有168人回复
-
申请博士求职
已经有1人回复
-
IEEE TBME期刊综述投稿周期求助
已经有0人回复
-
免费咨询，北核 南核 sci 写发一站式 版面加急 直至校稿 评职无忧 VX: qi888kan
已经有5人回复
-
免费咨询，北核 南核 sci 写发一站式 版面加急 直至校稿 评职无忧 VX: qi888kan
已经有6人回复
-
为什么旋转测试台跑了几个月，传感器数据开始出现周期性漂移？
已经有0人回复
-
【机械】从机床防水到正压防护：如何解决高精度旋转平台的“进水失准”死局？
已经有0人回复
-
经验分享】涉水/水下实验频频翻车？扒一扒高精度防水转台的硬核密封逻辑
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射电源问题
已经有11人回复
- 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
已经有20人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 磁控溅射TiO2降解甲基橙的问题？
已经有3人回复
- 磁控溅射设备真空问题
已经有12人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
- 【求助】磁控溅射仪相关
已经有8人回复
cheadache
捐助贵宾 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 263.1
- 帖子: 40
- 在线: 7.8小时
- 虫号: 748079
- 注册: 2009-04-14
- 性别: GG
- 专业: 其他无机非金属材料
7楼2013-07-02 23:56:10
mzhuxust
木虫 (小有名气)
- 应助: 67 (初中生)
- 金币: 2630.6
- 红花: 8
- 帖子: 297
- 在线: 150.7小时
- 虫号: 2296404
- 注册: 2013-02-24
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
2楼2013-06-29 00:21:52
cheadache
捐助贵宾 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 263.1
- 帖子: 40
- 在线: 7.8小时
- 虫号: 748079
- 注册: 2009-04-14
- 性别: GG
- 专业: 其他无机非金属材料
3楼2013-06-29 08:22:30
4楼2013-06-29 15:51:35
25