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磁控溅射主室的直流和射频能自己控制吗
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| 各位大侠们，你们好，小妹现在遇到大问题。我主要从事薄膜晶体管的研究，我刚买的靶材，是三个陶瓷靶需要同时溅射制备薄膜。由于陶瓷靶材不导电，需要用射频，而不是直流。但是，磁控溅射主室中只有一个射频，而有两个直流，所以实验进行不下去。在这想请问大侠们，沈科仪的磁控溅射主室的射频，直流能否自行调节，设置，比如都调节成射频。如果能够帮我解决此问题，将不甚感激。 |
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