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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请教：磁控溅射类金刚石薄膜所用的硅片型号参数？
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crich

金虫 (正式写手)

[求助] 请教：磁控溅射类金刚石薄膜所用的硅片型号参数？

请教做薄膜的同仁：
溅射类金刚石所用硅片型号参数，如掺杂类型，晶面，电导率，厚度等。
谢谢
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lidong64

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1楼 2012-05-21 10:52:41
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
crich: 金币+5, ★有帮助 2012-05-28 20:30:45
悠然zx11: 金币+1, 多谢参与 ，鼓励详细交流，欢迎常来^0^ 2012-05-29 15:12:38
基片的电阻率对薄膜的微观结构和性能影响不是很大。但是晶体取向对薄膜的生长有明显的影响。
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4楼2012-05-27 10:55:43
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
crich: 金币+5, ★有帮助 2012-05-26 21:15:27
wbcui: 金币+1, 多谢帮助 2012-05-26 22:40:43
单晶Si有P型、N型掺杂，厚度完全看自己的需要吧，晶面111,100的比较多。
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2楼2012-05-25 12:41:28
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crich

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-25 12:41:28
单晶Si有P型、N型掺杂，厚度完全看自己的需要吧，晶面111,100的比较多。

那电阻率对成膜的影响大吗？？谢谢
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3楼2012-05-26 21:14:41
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crich

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-27 10:55:43
基片的电阻率对薄膜的微观结构和性能影响不是很大。但是晶体取向对薄膜的生长有明显的影响。

非常感谢
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5楼2012-05-28 20:29:33
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