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crich

金虫 (正式写手)

[求助] 请教:磁控溅射类金刚石薄膜所用的硅片型号参数?

请教做薄膜的同仁:
溅射类金刚石所用硅片型号参数,如掺杂类型,晶面,电导率,厚度等。
谢谢
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crich

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-25 12:41:28
单晶Si有P型、N型掺杂,厚度完全看自己的需要吧,晶面111,100的比较多。

那电阻率对成膜的影响大吗??谢谢
3楼2012-05-26 21:14:41
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
crich: 金币+5, 有帮助 2012-05-26 21:15:27
wbcui: 金币+1, 多谢帮助 2012-05-26 22:40:43
单晶Si有P型、N型掺杂,厚度完全看自己的需要吧,晶面111,100的比较多。
2楼2012-05-25 12:41:28
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
crich: 金币+5, 有帮助 2012-05-28 20:30:45
悠然zx11: 金币+1, 多谢参与 ,鼓励详细交流,欢迎常来^0^ 2012-05-29 15:12:38
基片的电阻率对薄膜的微观结构和性能影响不是很大。但是晶体取向对薄膜的生长有明显的影响。
4楼2012-05-27 10:55:43
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crich

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-27 10:55:43
基片的电阻率对薄膜的微观结构和性能影响不是很大。但是晶体取向对薄膜的生长有明显的影响。

非常感谢
5楼2012-05-28 20:29:33
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