24小时热门版块排行榜    

查看: 918  |  回复: 6

crich

金虫 (正式写手)

[求助] 请教:磁控溅射类金刚石薄膜所用的硅片型号参数?

请教做薄膜的同仁:
溅射类金刚石所用硅片型号参数,如掺杂类型,晶面,电导率,厚度等。
谢谢
回复此楼

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
crich: 金币+5, 有帮助 2012-05-26 21:15:27
wbcui: 金币+1, 多谢帮助 2012-05-26 22:40:43
单晶Si有P型、N型掺杂,厚度完全看自己的需要吧,晶面111,100的比较多。
2楼2012-05-25 12:41:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

crich

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-25 12:41:28
单晶Si有P型、N型掺杂,厚度完全看自己的需要吧,晶面111,100的比较多。

那电阻率对成膜的影响大吗??谢谢
3楼2012-05-26 21:14:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
crich: 金币+5, 有帮助 2012-05-28 20:30:45
悠然zx11: 金币+1, 多谢参与 ,鼓励详细交流,欢迎常来^0^ 2012-05-29 15:12:38
基片的电阻率对薄膜的微观结构和性能影响不是很大。但是晶体取向对薄膜的生长有明显的影响。
4楼2012-05-27 10:55:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

crich

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-27 10:55:43
基片的电阻率对薄膜的微观结构和性能影响不是很大。但是晶体取向对薄膜的生长有明显的影响。

非常感谢
5楼2012-05-28 20:29:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bzdream

铜虫 (小有名气)

呵呵,呵呵
静以修心,学以育德。
6楼2012-05-29 14:52:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
送红花一朵
7楼2014-07-29 23:13:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 crich 的主题更新
信息提示
请填处理意见