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请教:磁控溅射类金刚石薄膜所用的硅片型号参数?
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请教做薄膜的同仁: 溅射类金刚石所用硅片型号参数,如掺杂类型,晶面,电导率,厚度等。 谢谢 |
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xlys-forever
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