24小时热门版块排行榜    

查看: 958  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

crich

金虫 (正式写手)

[求助] 请教:磁控溅射类金刚石薄膜所用的硅片型号参数?

请教做薄膜的同仁:
溅射类金刚石所用硅片型号参数,如掺杂类型,晶面,电导率,厚度等。
谢谢
回复此楼

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

crich

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-27 10:55:43
基片的电阻率对薄膜的微观结构和性能影响不是很大。但是晶体取向对薄膜的生长有明显的影响。

非常感谢
5楼2012-05-28 20:29:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
crich: 金币+5, 有帮助 2012-05-26 21:15:27
wbcui: 金币+1, 多谢帮助 2012-05-26 22:40:43
单晶Si有P型、N型掺杂,厚度完全看自己的需要吧,晶面111,100的比较多。
2楼2012-05-25 12:41:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

crich

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-25 12:41:28
单晶Si有P型、N型掺杂,厚度完全看自己的需要吧,晶面111,100的比较多。

那电阻率对成膜的影响大吗??谢谢
3楼2012-05-26 21:14:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
crich: 金币+5, 有帮助 2012-05-28 20:30:45
悠然zx11: 金币+1, 多谢参与 ,鼓励详细交流,欢迎常来^0^ 2012-05-29 15:12:38
基片的电阻率对薄膜的微观结构和性能影响不是很大。但是晶体取向对薄膜的生长有明显的影响。
4楼2012-05-27 10:55:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 317求调剂 +4 申子申申 2026-03-19 9/450 2026-03-20 11:08 by 申子申申
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +11 Ymlll 2026-03-18 14/700 2026-03-20 10:46 by EBSD
[考研] 一志愿西南交通 专硕 材料355 本科双非 求调剂 +3 西南交通专材355 2026-03-19 3/150 2026-03-20 09:34 by 每天只摆一小会
[考研] 304求调剂 +5 曼殊2266 2026-03-18 5/250 2026-03-20 09:00 by ZHANG0tao
[考博] 申博26年 +3 八6八68 2026-03-19 3/150 2026-03-19 19:43 by nxgogo
[考研] 288求调剂,一志愿华南理工大学071005 +5 ioodiiij 2026-03-17 5/250 2026-03-19 18:22 by zcl123
[考研] 求调剂 +3 Mqqqqqq 2026-03-19 3/150 2026-03-19 14:11 by peike
[考研] 328求调剂,英语六级551,有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-17 7/350 2026-03-18 20:41 by Wangjingyue
[考研] 材料专业求调剂 +5 hanamiko 2026-03-18 5/250 2026-03-18 20:19 by 星空星月
[考研] 085601专硕,总分342求调剂,地区不限 +5 share_joy 2026-03-16 5/250 2026-03-18 14:48 by haxia
[考研] 一志愿西南交大,求调剂 +4 材化逐梦人 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:22 by 007_lilei
[考研] 070300化学319求调剂 +6 锦鲤0909 2026-03-17 6/300 2026-03-18 13:22 by Iveryant
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[考研] 材料与化工专硕调剂 +5 heming3743 2026-03-16 5/250 2026-03-17 14:03 by 勇敢太监王公公
[论文投稿] 有没有大佬发小论文能带我个二作 +3 增锐漏人 2026-03-17 4/200 2026-03-17 09:26 by xs74101122
[考研] 东南大学364求调剂 +5 JasonYuiui 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:28 by 木瓜膏
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[考研] 080500,材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 复试调剂 +3 呼呼?~+123456 2026-03-14 3/150 2026-03-14 16:53 by WTUChen
信息提示
请填处理意见