应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】光刻失败后 大家是如何清洗SiO2上的光刻胶的
51/1返回列表
查看: 5119  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

meganejc

新虫 (小有名气)

[交流] 【请教】光刻失败后 大家是如何清洗SiO2上的光刻胶的 已有18人参与

光刻失败了 SiO2片还想用。
我是用紫外光照-显影剂泡-丙酮-酒精-水 来清洗

但是之后再做光刻时 光刻胶和SiO2粘附不牢 很容易漂胶
技术员说这是因为SiO2表面很亲水

请教各位XDJM是怎么清洗和疏水化的
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料和器件的表征 薄膜材料和器件制备 实验们

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-11-03 11:17:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

niteng

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
坑啊！我最近也遇到一样的问题。在长有氧化硅的硅片表面光刻图形，老是掉胶。
1.热氧SiO2的表面和PECVDSiO2表面都掉胶，前者还更严重。
2.涂胶之前，都做过丙酮+乙醇+去离子水清洗，还150℃烘了10min。
3.显影时，刚有图形时，线条还有，后面一晃动硅片，图形就没啦。
请教前辈，遇到过类似问题的朋友指教啊！！！
赞一下 回复此楼
水之归下，宁心为上。
10楼2014-03-05 10:11:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答

dugu

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
光刻胶种类繁多，性质各异，楼主是用的哪类？
查下光刻胶的产品说明就知道了。
赞一下(1人) 回复此楼
书生老去机会方来
2楼2010-11-03 17:03:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

courage

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
请问楼主你们的硅片在哪买的？谢谢
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2010-11-03 20:43:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

meganejc

新虫 (小有名气)
在中国光电南京55所买的 二氧化硅片

其实我主要是想问问各位如何做疏水化处理的..就按我目前的洗法其实已经比较干净了~

手动up一下
赞一下 回复此楼
4楼2010-11-03 22:48:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭