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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】光刻失败后 大家是如何清洗SiO2上的光刻胶的
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meganejc

新虫 (小有名气)

[交流] 【请教】光刻失败后 大家是如何清洗SiO2上的光刻胶的已有18人参与

光刻失败了 SiO2片还想用。
我是用紫外光照-显影剂泡-丙酮-酒精-水 来清洗

但是之后再做光刻时 光刻胶和SiO2粘附不牢 很容易漂胶
技术员说这是因为SiO2表面很亲水

请教各位XDJM是怎么清洗和疏水化的
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1楼2010-11-03 11:17:58
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courage

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
请问楼主你们的硅片在哪买的？谢谢
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3楼2010-11-03 20:43:12
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dugu

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
光刻胶种类繁多，性质各异，楼主是用的哪类？
查下光刻胶的产品说明就知道了。
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书生老去机会方来
2楼2010-11-03 17:03:06
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meganejc

新虫 (小有名气)
在中国光电南京55所买的 二氧化硅片

其实我主要是想问问各位如何做疏水化处理的..就按我目前的洗法其实已经比较干净了~

手动up一下
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4楼2010-11-03 22:48:58
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cangqiong

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
用浓硫酸+双氧水煮一下就可以了
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5楼2010-11-04 11:00:08
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