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meganejc

新虫 (小有名气)

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专业: 医用生物材料与植入科学

[交流] 【请教】光刻失败后大家是如何清洗SiO2上的光刻胶的已有18人参与

光刻失败了 SiO2片还想用。
我是用紫外光照-显影剂泡-丙酮-酒精-水来清洗

但是之后再做光刻时光刻胶和SiO2粘附不牢很容易漂胶
技术员说这是因为SiO2表面很亲水

请教各位XDJM是怎么清洗和疏水化的

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1楼2010-11-03 11:17:58

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meganejc

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在中国光电南京55所买的二氧化硅片

其实我主要是想问问各位如何做疏水化处理的..就按我目前的洗法其实已经比较干净了~

手动up一下

4楼2010-11-03 22:48:58

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