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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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meganejc

新虫 (小有名气)

[交流] 【请教】光刻失败后 大家是如何清洗SiO2上的光刻胶的 已有18人参与

光刻失败了 SiO2片还想用。
我是用紫外光照-显影剂泡-丙酮-酒精-水 来清洗

但是之后再做光刻时 光刻胶和SiO2粘附不牢 很容易漂胶
技术员说这是因为SiO2表面很亲水

请教各位XDJM是怎么清洗和疏水化的
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meganejc

新虫 (小有名气)

在中国光电南京55所买的 二氧化硅片

其实我主要是想问问各位如何做疏水化处理的..就按我目前的洗法其实已经比较干净了~

手动up一下
4楼2010-11-03 22:48:58
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dugu

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
光刻胶种类繁多,性质各异,楼主是用的哪类?
查下光刻胶的产品说明就知道了。
书生老去机会方来
2楼2010-11-03 17:03:06
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courage

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
请问楼主你们的硅片在哪买的?谢谢
3楼2010-11-03 20:43:12
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cangqiong

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
用浓硫酸+双氧水煮一下就可以了
5楼2010-11-04 11:00:08
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