求助各位虫友大大们，我要做一种压电悬臂梁式结构的MEMS器件，需要在SOI片上溅射Ti/Pt底电极然后运用溶胶凝胶法制备PZT薄膜。

由于我第一做这方面的东西，开始只是摸索，第一次就直接在高成本的SOI片溅射Ti/Pt制作的基底上，来尝试制备PZT，担心不成功的话会污染SOI片且会损坏，这这样成本太高o(╥﹏╥)o。

因此考虑能不能在价格低的可以生长PZT的替代基底上，摸索用用溶胶凝胶法制备PZT的方法。楼主想过用价格较低的普通硅片溅射Ti/Pt来实验，但是咨询了外面的代加工厂商，发现做两片要5~6k。但是又不能直接在硅片上直接做。以下是我的问题：
（1）请教各位各位有做过用溶胶凝胶法制备PZT经验的虫友大大，你们第一次做都是直接在溅射的基底上做的吗？还是在什么成本低的替代物上基底上呢？

（2）楼主的担心是否多虑，直接在SOI片制备即可嘛？ 返回小木虫查看更多