什么材质的陶瓷，烧结过程中产生的吗？倍数有点低，看不出是鼓泡还是在上面新生成的晶粒，比较均匀，这和你使用的粉体关系较大

喷金时候样品被污染了，但不是镀上去的金颗粒，而是别的东西。
换个喷金的设备试一下，我之前也出现过。

可以考虑不喷金，直接低电压试试，2kV或者更低，扫图快一点，你这个尺寸应该场发射电镜的话低电压分辨率也不会有问题，如果有低压模式或者减速模式也可以试试