用没用金刚石悬浮液,光用砂纸不可能达到看SEM 的要求.

试试金刚石磨盘

直接硬磨很耗砂紙，試試 CMP 化學機械研磨。

离子抛光呢？

金刚石砂盘

用带金刚石磨盘的自动研磨机，按200#，400#，800#，1200#磨盘的顺序依次研磨，表面就已经很接近镜面了，最后再用5微米左右的金刚石研磨膏在抛光布上抛一下光，肯定能满足要求。碳化硅这种脆性陶瓷是很容易实现镜面的，要不也会用它当卫星的反射镜。切记不要用碳化硅砂纸来磨，硅化硅磨碳化硅效果可想而知，

金相抛光机