有很大影响，可以影响核的形成速度的增长速度，可以对沉积粒子进行选择，可以提高涂层粒子饶射性等等诸多影响

影响大不大，你做一下对比就知道了。直流溅射做氮化钛，不加偏压和加了偏压。应力，硬度等参数，完全不一样。

我总觉得影响不大，不同批次和时间制备的薄膜，应力，硬度，微结构，都存在差别，主要是负偏压施加，增加了多少粒子，能否测一下

，

说实话，你要同一批次测还行，不同批次肯定都不一样的