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磁控溅射镀膜,负偏压作用大吗?
磁控溅射镀膜,负偏压作用大吗?
作者
luobingchi
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负偏压能够吸引多少带电离子轰击基片,对薄膜生长形态影响大吗?论文上很多结果不太相信,想听听实际情况。
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