磁控溅射Al膜2000A,目视表面光亮如镜。但是但是但是!!!溅射到4微米后就发白了!发白了! 求各位大哥大姐了!要哭了 返回小木虫查看更多
随着薄膜厚度的变化,颜色也会变的啊
2000A是200nm,应该不会啊
亲 我想问下你要这么厚做什么用呢? 1. 发白是正常现象,溅射过程温度在升高,晶粒本身也在长大,表面粗糙度增大。外观上表现的就是发白。 2. 200nm还好,到达微米真的很难控制到光亮。能做的只是控制晶粒长大,手段就是降低(沉积速率,功率,降温),都可以一试。 另外,这么厚的你可以用蒸发镀呀。
随着薄膜厚度的变化,颜色也会变的啊
2000A是200nm,应该不会啊
亲 我想问下你要这么厚做什么用呢?
1. 发白是正常现象,溅射过程温度在升高,晶粒本身也在长大,表面粗糙度增大。外观上表现的就是发白。
2. 200nm还好,到达微米真的很难控制到光亮。能做的只是控制晶粒长大,手段就是降低(沉积速率,功率,降温),都可以一试。
另外,这么厚的你可以用蒸发镀呀。
有礼貌的小姑娘运气都不会差,哈哈哈,解决问题就好
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