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磁控溅射铝膜发白

作者 心如
来源: 小木虫 600 12 举报帖子
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磁控溅射Al膜2000A,目视表面光亮如镜。但是但是但是!!!溅射到4微米后就发白了!发白了!  求各位大哥大姐了!要哭了

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  • 精华评论
  • 连亚军的

    随着薄膜厚度的变化,颜色也会变的啊

  • xiaolongno1

    2000A是200nm,应该不会啊

  • 野人禾禾

    亲 我想问下你要这么厚做什么用呢?

    1. 发白是正常现象,溅射过程温度在升高,晶粒本身也在长大,表面粗糙度增大。外观上表现的就是发白。
    2. 200nm还好,到达微米真的很难控制到光亮。能做的只是控制晶粒长大,手段就是降低(沉积速率,功率,降温),都可以一试。

    另外,这么厚的你可以用蒸发镀呀。

  • 野人禾禾

    引用回帖:
    6楼: Originally posted by 心如 at 2018-01-31 15:22:39
    谢谢老板回复呀             这是为一种引信做的实验。 原来如此 ! 学习了!谢谢!
    ...

    有礼貌的小姑娘运气都不会差,哈哈哈,解决问题就好

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