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在Si上制备的Cu薄膜,如何制备SEM断面样品呢?

作者 aaron5235
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在Si上制备的Cu薄膜,如何制备SEM断面样品呢?直接掰断,Cu较软,容易撕破。@yswyx 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • enola

    以前我们就是直接掰断的,不过断面确实不太好看,要是不满意就换tem

  • 盟维科技

    我们可以做切割,需要吗

  • aaron5235

    引用回帖:
    3楼: Originally posted by 盟维科技 at 2016-05-17 13:31:01
    我们可以做切割,需要吗

    切割会破坏几百nm的Cu薄膜吧

  • aaron5235

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by enola at 2016-05-17 13:02:50
    以前我们就是直接掰断的,不过断面确实不太好看,要是不满意就换tem

    时好时坏。不知道放入液氮好用不

  • enola

    引用回帖:
    5楼: Originally posted by aaron5235 at 2016-05-17 13:59:06
    时好时坏。不知道放入液氮好用不...

    要不你用FIB去切开看。那样好像还可以。
    液氮作用不知道呢

  • myjackie

    从正面用玻璃刀切割 背面压断就行啊

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