一般就是按TEM制样的方法，但是EBSD要求表面十分光滑，所以一般要用电化学腐蚀一下。

钛合金的制样有些困难，多数还是采用的电解抛光

有时也不一定就是制样的原因，或许是EBSD本身的设定问题，可调整部分参数再试试

先机械抛光，最后电解抛光

我做过Al的EBSD，手动抛光以后用电解抛光，10%高氯酸+90%乙醇，30V，1-2A/cm2电解15s即可。电解抛光完表面不一定有抛光前亮，要到EBSD里面去看花样再决定。在抛光过程中要注意防氧化，电解完立刻用酒精洗了烘干。

钛合金TB5电解抛光5%高氯酸+95%冰醋酸
电压32V，电流两圈时间35s
用甲醇洗两遍，再用丙酮洗，之后迅速吹干
固溶样可以标定率达百分之九十以上
但是形变后由于缺陷的引入会使标定下降，形变越大，标定越低，这是不可以避免的。
做EBSD时参数的设定也很重要。integration一般在十以上，同时步幅也要设好
TC4，TA18，钛铝合金用这个也做得出来。
但是根据样品大小，状态，要做适当微调，

Ti，还两个相，很难，试试振动抛光吧，实在不行就用FIB