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【请教】ITO陶瓷靶材如何腐蚀

那位虫友做ITO陶瓷靶材,想看靶材的组织形态,如何进行腐蚀!陶瓷的耐腐蚀性一般都很强,

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用户评论

你是要看断面吧
断面的话,大概腐蚀一下就可以,不用考虑太多

是看断面 那要用什么腐蚀呐

ITO靶材很难腐蚀,所以回收废靶材时也比较费劲,直接切成断面不行吗?

嗯 好的 谢谢
虫友 你是做什么的 做ITO薄膜嘛

做ITO靶材,你呢,有机会可以交流,在哪高就?

呵呵 好啊
我做ITO薄膜

北京科技大学
你呢

Originally posted by wmk176 at 2009-9-10 17:57:
呵呵 好啊
我做ITO薄膜

北京科技大学
你呢
那好啊,看看你们镀膜过程中,对靶材的要求怎么样啊,反馈反馈信息,听听你们的意见,呵呵,

:D:D:D强烈建议设立ITO、AZO靶材专版扩大交流范围!

严重同意楼上啊,至少新开一个薄膜版吧,这一块不做的人不会注意到,但是确实身边都在用啊,就拿大家面前的液晶屏来说,那是两层玻璃板中间的薄膜在起作用,其中既有导电膜。。。

非常同意,楼上两位所说,开一个靶材和镀膜的专区最好了:D

强烈建议设立ITO、AZO靶材专版扩大交流范围! dddddd

这个我做过,说老实话对ITO靶材腐蚀真的很难,用化学方法不太可行,如果用热刻蚀的话又因为三氧化二铟易挥发分解,一般来说我们热刻蚀要选在比烧结温度低个两三百度,不知道你的ITO靶材的用什么烧结方法得到的。

烧结的吧
热刻蚀 原料是什么呐

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