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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 热处理 » 磁控溅射后续热处理温度
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wenkicy

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射后续热处理温度 已有2人参与

在不锈钢表面利用磁控溅射共同溅射Ti靶、Al靶，溅射完之后，我们不确定两者是不是反应了，想后续进行热处理使两者反应。麻烦请教哪位大神后续的热处理温度应该是多少？？
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1楼 2015-05-13 21:28:51
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wenkicy: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 非常满意 2015-05-14 18:26:56
附图是钛和铝的二元相图。一般靶材中的钛含量较少，铝含量较多。因此适用于图中右边的情形。有图可看出，在665度附近有一个二元包晶反应存在。高于这个温度，就会有部分的固体发生熔化了。因此热处理的温度要比这个温度低一些，比如可以选择热处理温度比此温度低个30~100摄氏度试试。只要不发生过烧现象，温度高些有利于原子间的相互扩散和形成合金。
磁控溅射后续热处理温度
未命名.JPG
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wenkicy
2楼2015-05-13 21:56:44
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wenkicy

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by Friend007 at 2015-05-14 07:21:27
1，我的观点.反应过程应该主要发生在溅射沉积时，（之后的热处理效果，我不太了解，不知道楼主是否有相关的文献支撑）。2.生成的合金内原子数比，应该与两种靶材的溅射产额有关，哪个溅射率更高，哪个含量高。
...

是啊，但是双靶有可能只是溅射上了，两者并没有反应，所以想通过后续热处理来让两者反应，我查过相关的文献，有这样做的。

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6楼2015-05-14 08:44:35
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普通回帖

wenkicy

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-05-13 21:56:44
附图是钛和铝的二元相图。一般靶材中的钛含量较少，铝含量较多。因此适用于图中右边的情形。有图可看出，在665度附近有一个二元包晶反应存在。高于这个温度，就会有部分的固体发生熔化了。因此热处理的温度要比这个 ...

太棒了，很专业。所以我在500~600度之间就行，是吧？

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3楼2015-05-13 22:03:38
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by wenkicy at 2015-05-13 22:03:38
太棒了，很专业。所以我在500~600度之间就行，是吧？
...

嗯，试试后再说吧。
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4楼2015-05-14 01:13:52
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1，我的观点.反应过程应该主要发生在溅射沉积时，（之后的热处理效果，我不太了解，不知道楼主是否有相关的文献支撑）。2.生成的合金内原子数比，应该与两种靶材的溅射产额有关，哪个溅射率更高，哪个含量高。

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wenkicy
5楼2015-05-14 07:21:27
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wenkicy at 2015-05-14 08:44:35
是啊，但是双靶有可能只是溅射上了，两者并没有反应，所以想通过后续热处理来让两者反应，我查过相关的文献，有这样做的。
...

恩 学习了，要是成功了 请告诉我啊，谢谢

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7楼2015-05-14 18:01:21
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perry_ping

新虫 (职业作家)
一般500℃

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8楼2015-05-15 08:22:08
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wenkicy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by perry_ping at 2015-05-15 08:22:08
一般500℃

升温速率、保温时间有什么具体的要求吗？能具体说一下它的热处理过程步骤吗？

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9楼2015-05-16 20:11:48
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perry_ping

新虫 (职业作家)
升温速率我们是10，保温时间2小时

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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10楼2015-05-17 08:56:34
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