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汕头大学海洋科学接受调剂
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wenkicy

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射后续热处理温度 已有2人参与

在不锈钢表面利用磁控溅射共同溅射Ti靶、Al靶,溅射完之后,我们不确定两者是不是反应了,想后续进行热处理使两者反应。麻烦请教哪位大神后续的热处理温度应该是多少??
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wenkicy

新虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by Friend007 at 2015-05-14 07:21:27
1,我的观点.反应过程应该主要发生在溅射沉积时,(之后的热处理效果,我不太了解,不知道楼主是否有相关的文献支撑)。2.生成的合金内原子数比,应该与两种靶材的溅射产额有关,哪个溅射率更高,哪个含量高。
...

是啊,但是双靶有可能只是溅射上了,两者并没有反应,所以想通过后续热处理来让两者反应,我查过相关的文献,有这样做的。

[ 发自小木虫客户端 ]
6楼2015-05-14 08:44:35
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wenkicy: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 非常满意 2015-05-14 18:26:56
附图是钛和铝的二元相图。一般靶材中的钛含量较少,铝含量较多。因此适用于图中右边的情形。有图可看出,在665度附近有一个二元包晶反应存在。高于这个温度,就会有部分的固体发生熔化了。因此热处理的温度要比这个温度低一些,比如可以选择热处理温度比此温度低个30~100摄氏度试试。只要不发生过烧现象,温度高些有利于原子间的相互扩散和形成合金。
磁控溅射后续热处理温度
未命名.JPG

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2015-05-13 21:56:44
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wenkicy

新虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-05-13 21:56:44
附图是钛和铝的二元相图。一般靶材中的钛含量较少,铝含量较多。因此适用于图中右边的情形。有图可看出,在665度附近有一个二元包晶反应存在。高于这个温度,就会有部分的固体发生熔化了。因此热处理的温度要比这个 ...

太棒了,很专业。所以我在500~600度之间就行,是吧?

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-05-13 22:03:38
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
3楼: Originally posted by wenkicy at 2015-05-13 22:03:38
太棒了,很专业。所以我在500~600度之间就行,是吧?
...

嗯,试试后再说吧。
4楼2015-05-14 01:13:52
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