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wenkicy新虫 (小有名气)
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磁控溅射后续热处理温度 已有2人参与
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| 在不锈钢表面利用磁控溅射共同溅射Ti靶、Al靶，溅射完之后，我们不确定两者是不是反应了，想后续进行热处理使两者反应。麻烦请教哪位大神后续的热处理温度应该是多少？？ |
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 薄膜制备与特性 |
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perry_ping 
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10楼2015-05-17 08:56:34
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wenkicy: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 非常满意 2015-05-14 18:26:56
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附图是钛和铝的二元相图。一般靶材中的钛含量较少，铝含量较多。因此适用于图中右边的情形。有图可看出，在665度附近有一个二元包晶反应存在。高于这个温度，就会有部分的固体发生熔化了。因此热处理的温度要比这个温度低一些，比如可以选择热处理温度比此温度低个30~100摄氏度试试。只要不发生过烧现象，温度高些有利于原子间的相互扩散和形成合金。 未命名.JPG |
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wenkicy2楼2015-05-13 21:56:44
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