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gaoxh121

木虫 (正式写手)

[求助] 如何用磁控溅射技术制备高红外反射率的钨薄膜和钼薄膜? 已有1人参与

最近做磁控实验,在不锈钢表面制备单层钨或者单层钼,看了很多文献,利用直流溅射制备了高红外反射率的单层钨或者钼薄膜!但自己用直流溅射制备时,得到的单层钨或者钼
的红外反射谱图与文献报道有很大区别!实验参数如功率,溅射时间都做了调整,始终没得到高红外反射率的单层钨或者钼薄膜?不知道哪里出问题了,请前辈们指点,谢谢!
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325114100

新虫 (小有名气)

你这里指的单层钨、钼是什么意思、?
2楼2015-09-19 16:04:50
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马亚辉

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

单层是多厚?会不会靶材一起辉就够啦,太薄的话怎么去控制膜的质量
3楼2015-09-20 09:00:36
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