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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射，氧化物陶瓷靶材变黑，求大神分析
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yanzijing

金虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射，氧化物陶瓷靶材变黑，求大神分析 已有2人参与

氧化物陶瓷中间一圈变黑，射频磁控溅射，同氩气和氧气，求分析原因
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kakakakakka
1楼 2015-01-06 12:30:02
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yanzijing

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by caoxiafei at 2015-01-06 13:53:34
正常现象，不怎么影响溅射，表面形成了一种介孔纳米结构，吸光发黑而已，你可以去做个SEM看看

好的  多谢大神啊
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kakakakakka
3楼2015-01-06 18:24:24
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
正常现象，不怎么影响溅射，表面形成了一种介孔纳米结构，吸光发黑而已，你可以去做个SEM看看
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2楼2015-01-06 13:53:34
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
因为金属阳离子与阴离子氧的溅射产额不同，造成陶瓷氧化物陶瓷的表面缺氧，所以形成了缺氧氧化物，所以颜色变黑

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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hopeisagoodthing........
4楼2015-01-06 20:00:42
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