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裤腿儿铜虫 (小有名气)
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请问PZT靶材中有必要要求Pb过量吗? 已有2人参与
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实验室准备用PLD方法做PZT薄膜研究压电铁电性质,购买的PZT靶材为Pb(Zr0.52Ti0.48)O3。。。 老板说镀膜过程可能会有Pb的损耗,请问购买靶材的Pb是否需要过量呢? 如果需要,那么过量多少才能得到需要的计量比的薄膜? 门外汉一个,技术不过硬,求大神指导!!! |
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jkcls
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