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裤腿儿

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问PZT靶材中有必要要求Pb过量吗? 已有2人参与

实验室准备用PLD方法做PZT薄膜研究压电铁电性质,购买的PZT靶材为Pb(Zr0.52Ti0.48)O3。。。
老板说镀膜过程可能会有Pb的损耗,请问购买靶材的Pb是否需要过量呢?
如果需要,那么过量多少才能得到需要的计量比的薄膜?

门外汉一个,技术不过硬,求大神指导!!!
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脚下的路,要一步一步走……
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seanwu1973

铜虫 (初入文坛)


補充一下,陶瓷靶很複雜,濺鍍靶若做得好倒也未必要過量。不是燒成陶瓷就適合當靶材。濺鍍機的power也很重要
6楼2014-03-19 01:02:52
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jkcls

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
裤腿儿: 金币+3 2014-03-20 10:39:11
肯定要过量,当初也给一个学校做过合成的PZT,也是要求不同的Pb过量,不过Pb过量太多不太好合成。
2楼2014-03-18 08:03:14
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裤腿儿

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jkcls at 2014-03-18 08:03:14
肯定要过量,当初也给一个学校做过合成的PZT,也是要求不同的Pb过量,不过Pb过量太多不太好合成。

你好,多谢您的回答,不知您是否在线,想详细讨教讨教。。
脚下的路,要一步一步走……
3楼2014-03-18 16:36:57
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npxdaisy

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
裤腿儿: 金币+2 2014-03-20 10:39:03
Pb易挥发,生长温度几百度呢,肯定要过量的,这样才可以弥补Pb的挥发
4楼2014-03-18 17:59:14
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