应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射过程中加热电流不稳定
81/1返回列表
查看: 1553  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

naso123

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射过程中加热电流不稳定 已有3人参与

本人用磁控溅射的方法生长的压电薄膜，在生长过程中发现辉光打到基片上时，加热电流出现波动，辉光也是一闪一闪的，有人知道这是什么原因吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-11-03 11:36:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

naso123

银虫 (小有名气)
用的仪器是沈科仪的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
2楼2014-11-03 11:42:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苹果屋

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by naso123 at 2014-11-03 11:42:56
用的仪器是沈科仪的

你的溅射气压是多少啊？溅射时气压稳定吗
赞一下 回复此楼
3楼2014-11-03 17:33:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

150465250

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
（1）表面有氧化物，导电性时好时坏，加大电流多溅射一会儿。（2）电流太小，未进入稳定出辉状态，调大电流试一下。（3）靶材固定螺丝太松，紧一下。（4）长时间未清理，靶罩内侧和靶材固定圈上出现刺状或片状残留物，用砂纸细细打磨。（5）腔体烘烤不足，靶材上有水附着，内外烘烤24小时，使真空进入10的-4次方以下。（6）电流调节电位器磨损，电阻值不稳定，轻轻晃一下旋钮，如果电流有摆动，则需更换。（6）靶材中有铝，只能把靶材消耗掉一些了。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2014-11-03 19:16:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

150465250

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

辉光怎么会打到基片上？是反溅射清洁基片表面吗？那就不用管它
赞一下 回复此楼
5楼2014-11-03 19:20:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

naso123

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 苹果屋 at 2014-11-03 17:33:17
你的溅射气压是多少啊？溅射时气压稳定吗...

气压0.5Pa左右，气压在0.5~0.55Pa之间跳动
赞一下 回复此楼
6楼2014-11-04 11:20:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

luan001

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你的加热电流会变化明显，应该会有局部电弧放电，估计是该清理了。检查靶表面是否氧化，清理靶周围和腔体，然后抽一下极限真空，最好到10的-5次方。辉光不稳定，一般是电流达不到，建议你调大电流试试。若是样品在旋转过程中出现的变化，则必须检查你装样是否在正中。
赞一下(1人) 回复此楼
踏实科研
7楼2014-11-05 09:04:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

916941518

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
磁控溅射靶材基底和托盘分别是两个电极，两者之间的辉光气体就相当于介质，好比是电容器，介质的密度等不稳定时，必会引起两电极上电压的不稳定
赞一下 回复此楼
8楼2014-11-06 08:06:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 naso123 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 268分085602化学工程调剂 +30 月照花林。 2026-04-09 30/1500 2026-04-12 19:17 by laoshidan
[基金申请] 山东省基金2026 +5 jerry681 2026-04-08 6/300 2026-04-12 08:33 by kudofaye
[考研] 312求调剂 +6 李鸿飞飞 2026-04-06 6/300 2026-04-12 00:34 by 蓝云思雨
[考研] 本人女孩 +7 吼吼， 2026-04-10 9/450 2026-04-11 14:45 by ACS Nano——
[考研] 调剂 +4 电气300求调剂不 2026-04-08 7/350 2026-04-11 10:44 by 紫曦紫棋
[考研] 083200 305分 求二轮调剂 不接受跨专业 +9 Claireyyyy 2026-04-09 10/500 2026-04-10 21:21 by Claireyyyy
[考研] 309求调剂 +14 wdhw 2026-04-10 15/750 2026-04-10 21:06 by zhouxiaoyu
[考研] 292求调剂 +9 笑笑袁 2026-04-09 9/450 2026-04-10 10:05 by LHGeng
[考研] 已调剂 +18 柴郡猫_ 2026-04-09 19/950 2026-04-09 22:10 by 柴郡猫_
[考研] 070300化学 求调剂 +13 73372112 2026-04-08 13/650 2026-04-09 20:22 by maddjdld
[考研] 材料专硕初试分332一志愿西北工业大学， +12 故人?? 2026-04-09 12/600 2026-04-09 18:34 by Ccclqqq
[考研] 材料调剂 +10 18815505510 2026-04-09 11/550 2026-04-09 17:07 by 544594351
[考研] 招收有机化学、化工，药学，食品灯专业学生 +3 yrfhjgdj 2026-04-08 3/150 2026-04-09 10:15 by QYQX_123
[考研] 328求调剂 +17 lftmya 2026-04-07 18/900 2026-04-09 08:05 by 5268321
[考研] 085404，334分，求调剂 +5 sunjie8888 2026-04-08 8/400 2026-04-09 07:26 by sunjie8888
[考研] 考研求调剂 +4 雯??? 2026-04-08 4/200 2026-04-08 21:44 by 土木硕士招生
[考研] 一志愿华东理工085601材料工程303分求调剂 +15 a1708 2026-04-06 15/750 2026-04-08 16:23 by luoyongfeng
[考研] 生物医药调剂｜SCI中科院三区一作+多项科研成果 +8 likangxing 2026-04-07 11/550 2026-04-08 00:02 by lys0704
[考研] 材料调剂 +13 汉123456 2026-04-07 14/700 2026-04-07 22:53 by 来看流星雨10
[考研] 312求调剂 +18 gtw1 2026-04-06 20/1000 2026-04-07 18:16 by 蓝云思雨
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭