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磁控溅射过程中加热电流不稳定 已有3人参与
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本人用磁控溅射的方法生长的压电薄膜,在生长过程中发现辉光打到基片上时,加热电流出现波动,辉光也是一闪一闪的,有人知道这是什么原因吗? [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
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2楼2014-11-03 11:42:56
3楼2014-11-03 17:33:17
4楼2014-11-03 19:16:49
5楼2014-11-03 19:20:24
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luan001
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7楼2014-11-05 09:04:07
8楼2014-11-06 08:06:02












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