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磁控溅射过程中加热电流不稳定 已有3人参与
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本人用磁控溅射的方法生长的压电薄膜，在生长过程中发现辉光打到基片上时，加热电流出现波动，辉光也是一闪一闪的，有人知道这是什么原因吗？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
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luan001
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