24小时热门版块排行榜    

查看: 1749  |  回复: 7

naso123

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射过程中加热电流不稳定 已有3人参与

本人用磁控溅射的方法生长的压电薄膜,在生长过程中发现辉光打到基片上时,加热电流出现波动,辉光也是一闪一闪的,有人知道这是什么原因吗?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

naso123

银虫 (小有名气)

用的仪器是沈科仪的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2014-11-03 11:42:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苹果屋

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by naso123 at 2014-11-03 11:42:56
用的仪器是沈科仪的

你的溅射气压是多少啊?溅射时气压稳定吗
3楼2014-11-03 17:33:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

150465250

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
(1)表面有氧化物,导电性时好时坏,加大电流多溅射一会儿。(2)电流太小,未进入稳定出辉状态,调大电流试一下。(3)靶材固定螺丝太松,紧一下。(4)长时间未清理,靶罩内侧和靶材固定圈上出现刺状或片状残留物,用砂纸细细打磨。(5)腔体烘烤不足,靶材上有水附着,内外烘烤24小时,使真空进入10的-4次方以下。(6)电流调节电位器磨损,电阻值不稳定,轻轻晃一下旋钮,如果电流有摆动,则需更换。(6)靶材中有铝,只能把靶材消耗掉一些了。
4楼2014-11-03 19:16:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

150465250

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

辉光怎么会打到基片上?是反溅射清洁基片表面吗?那就不用管它
5楼2014-11-03 19:20:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

naso123

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 苹果屋 at 2014-11-03 17:33:17
你的溅射气压是多少啊?溅射时气压稳定吗...

气压0.5Pa左右,气压在0.5~0.55Pa之间跳动
6楼2014-11-04 11:20:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

luan001

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的加热电流会变化明显,应该会有局部电弧放电,估计是该清理了。检查靶表面是否氧化,清理靶周围和腔体,然后抽一下极限真空,最好到10的-5次方。辉光不稳定,一般是电流达不到,建议你调大电流试试。若是样品在旋转过程中出现的变化,则必须检查你装样是否在正中。
踏实科研
7楼2014-11-05 09:04:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

916941518

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
磁控溅射靶材基底和托盘分别是两个电极,两者之间的辉光气体就相当于介质,好比是电容器,介质的密度等不稳定时,必会引起两电极上电压的不稳定
8楼2014-11-06 08:06:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 naso123 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +3 启萌科技 2026-08-12 10/500 2026-08-13 20:42 by hmhminy
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +4 majunge000 2026-08-11 6/300 2026-08-13 16:50 by 四季常青藤
[基金申请] filecode +14 documentary 2026-08-10 16/800 2026-08-13 16:39 by 润生71
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +9 家与远方 2026-08-10 14/700 2026-08-13 09:41 by 臭臭不臭01
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分? +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] 关于filecode,很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制,评价高的钱多评价低的钱少,但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
信息提示
请填处理意见