24小时热门版块排行榜    

查看: 1781  |  回复: 7

naso123

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射过程中加热电流不稳定 已有3人参与

本人用磁控溅射的方法生长的压电薄膜,在生长过程中发现辉光打到基片上时,加热电流出现波动,辉光也是一闪一闪的,有人知道这是什么原因吗?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

naso123

银虫 (小有名气)

用的仪器是沈科仪的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2014-11-03 11:42:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苹果屋

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by naso123 at 2014-11-03 11:42:56
用的仪器是沈科仪的

你的溅射气压是多少啊?溅射时气压稳定吗
3楼2014-11-03 17:33:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

150465250

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
(1)表面有氧化物,导电性时好时坏,加大电流多溅射一会儿。(2)电流太小,未进入稳定出辉状态,调大电流试一下。(3)靶材固定螺丝太松,紧一下。(4)长时间未清理,靶罩内侧和靶材固定圈上出现刺状或片状残留物,用砂纸细细打磨。(5)腔体烘烤不足,靶材上有水附着,内外烘烤24小时,使真空进入10的-4次方以下。(6)电流调节电位器磨损,电阻值不稳定,轻轻晃一下旋钮,如果电流有摆动,则需更换。(6)靶材中有铝,只能把靶材消耗掉一些了。
4楼2014-11-03 19:16:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

150465250

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

辉光怎么会打到基片上?是反溅射清洁基片表面吗?那就不用管它
5楼2014-11-03 19:20:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

naso123

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 苹果屋 at 2014-11-03 17:33:17
你的溅射气压是多少啊?溅射时气压稳定吗...

气压0.5Pa左右,气压在0.5~0.55Pa之间跳动
6楼2014-11-04 11:20:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

luan001

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的加热电流会变化明显,应该会有局部电弧放电,估计是该清理了。检查靶表面是否氧化,清理靶周围和腔体,然后抽一下极限真空,最好到10的-5次方。辉光不稳定,一般是电流达不到,建议你调大电流试试。若是样品在旋转过程中出现的变化,则必须检查你装样是否在正中。
踏实科研
7楼2014-11-05 09:04:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

916941518

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
磁控溅射靶材基底和托盘分别是两个电极,两者之间的辉光气体就相当于介质,好比是电容器,介质的密度等不稳定时,必会引起两电极上电压的不稳定
8楼2014-11-06 08:06:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 naso123 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 国自然评审意见 +11 wangmingqi 2026-08-28 15/750 2026-08-29 00:17 by fangyl2005
[基金申请] 国自然面上复盘~欢迎讨论 (金币+15) +13 晴天加油 2026-08-26 14/700 2026-08-28 18:36 by huagongfeihu
[基金申请] 系统查不到 +11 董八千 2026-08-26 11/550 2026-08-28 18:06 by Leogzhya
[基金申请] 基金不中,共勉 +11 eulota 2026-08-26 11/550 2026-08-28 14:22 by 火星超人xi
[基金申请] 2026年叶企孙基金 +3 bud_bud 2026-08-27 6/300 2026-08-28 11:53 by bud_bud
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+4 winsaint 2026-08-27 9/450 2026-08-28 11:06 by maolC
[基金申请] 哪位高人中了,把查询到的截图贴出来让我看看,让我长长见识 +5 yuleib84 2026-08-26 6/300 2026-08-28 00:02 by yudaoqian88
[基金申请] 看板上这么多中的,有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +5 a089 2026-08-26 6/300 2026-08-27 14:05 by jonewore
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +5 叶九微 2026-08-26 5/250 2026-08-27 10:35 by l_zh2008
[基金申请] 为什么 国际(地区)合作与交流项目 没有放榜? 10+3 majunge000 2026-08-26 11/550 2026-08-27 08:42 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +7 process2012 2026-08-23 10/500 2026-08-26 19:23 by hmhminy
[基金申请] 2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件,有关系吗? +25 木水思豆 2026-08-25 28/1400 2026-08-26 14:53 by draco1987
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +4 bjdxyxy 2026-08-26 4/200 2026-08-26 13:12 by qingmu1201
[基金申请] 国合里面能看到了 +7 一怀馨秋 2026-08-26 7/350 2026-08-26 11:23 by zhaosm1982
[基金申请] 今天务委会开完了,明天出结果吗 +19 angus9576 2026-08-25 23/1150 2026-08-26 10:03 by zp519
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候,我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
[基金申请] 某些机构,以效率低为荣,以效率低作为存在感 +9 yuleib84 2026-08-25 10/500 2026-08-25 17:14 by alexon
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +9 图啦图啦 2026-08-24 10/500 2026-08-25 11:59 by 南海小哥
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办? +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
信息提示
请填处理意见