应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅刻蚀设备求推荐
101/1返回列表
查看: 3447  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[交流] 硅刻蚀设备求推荐 已有6人参与

最近在调研一些硅刻蚀的设备。但是对这方面不是很了解。
说一下我们的目的。
我们主要是想在氧化片上做二氧化硅的微结构，然后对衬底硅进行刻蚀形成二氧化硅的支撑。
也就是说，我们想刻蚀硅，但是又不想刻蚀表面的二氧化硅微结构。
实验室自己用。

老板让我调研一下ICP的相关设备。
不是很了解，求推荐一下。

看了目前几个设备。
1、Oxford  PlasmaPro 100
2、sentech ICP-RIE SI 500
3、微电子所的 ICP-8A
4、还有个日本的 Samco 牌的，没查明白哪种型号能用。
还有在小木虫搜到的帖子。http://muchong.com/html/201304/5774852.html
里面提到
北方微电子  GSE 200系列 ICP
北京东方中科集成科技股份有限公司  电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统SI500（SENTECH）
北京创世威纳科技   ICP-8100 型感应耦合等离子刻蚀设备
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

科研设备设施

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
1楼 2014-09-16 17:33:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
wj0702114081: 金币+2 2014-09-16 21:55:58
ICP的话，能刻的比较深。
如果要买进口的，肯定是买STPS，没别的选择，你上面列出来的那几家都不划算，工艺烂，设备也差。代理是香港镭射。
如果要买国产的，毫无疑问选微电子所。  北方微的太贵，创世公司太烂，没保证。
赞一下 回复此楼
2楼2014-09-16 21:26:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-16 21:26:16
ICP的话，能刻的比较深。
如果要买进口的，肯定是买STPS，没别的选择，你上面列出来的那几家都不划算，工艺烂，设备也差。代理是香港镭射。
如果要买国产的，毫无疑问选微电子所。  北方微的太贵，创世公司太烂， ...

SPTS的可能实在贵。。。
之前问过他家的二氟化氙刻蚀设备，100万左右。
ICP估计更贵了。
我联系一下问问吧。
谢谢。
赞一下 回复此楼
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
3楼2014-09-16 21:39:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

n1304385070

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
wj0702114081: 金币+3, 谢谢 2015-01-20 11:36:37
北京创世威纳的就别考虑了，我们实验室就有，特别不稳定，总出问题，基本不能用
赞一下 回复此楼
4楼2015-01-20 10:28:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vivilee3609

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们实验室用的Oxford  PlasmaPro 100
赞一下 回复此楼
5楼2015-05-19 09:41:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

撒兰斯

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-16 21:26:16
ICP的话，能刻的比较深。
如果要买进口的，肯定是买STPS，没别的选择，你上面列出来的那几家都不划算，工艺烂，设备也差。代理是香港镭射。
如果要买国产的，毫无疑问选微电子所。  北方微的太贵，创世公司太烂， ...

微电子所，什么型号，多少钱？
赞一下 回复此楼
6楼2016-01-07 10:49:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小小弟

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by vivilee3609 at 2015-05-19 09:41:29
我们实验室用的Oxford  PlasmaPro 100

您好，请问是你们课题组自己买的吗
赞一下 回复此楼
7楼2018-12-20 15:54:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

at2046

铜虫 (初入文坛)
emuch: 屏蔽内容, 违规存档, 违规发布联系方式 2019-01-14 15:02:02
本帖内容被屏蔽
8楼2019-01-14 10:44:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gyxzby

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
鲁汶仪器，比利时合作公司，这两年才发展起来的，你可以看一看，他家设备目前主推科研使用，价格也亲民
赞一下 回复此楼
9楼2019-01-23 17:38:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

百无二用

新虫 (小有名气)
牛津的公认的好啊，实验用尽量买牛津ICP

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
10楼2019-03-26 12:38:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wj0702114081 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 27博士申请 +3 白白白ly 2026-11-09 3/150 2026-11-09 21:39 by szq0819
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 3/150 2026-11-09 21:05 by FChKX8meu1ds
[文学芳草园] 厉娜 +3 张丹枫1991 2026-11-09 5/250 2026-11-09 16:53 by 张丹枫1991
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 12/600 2026-11-09 13:26 by Equinoxhua
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 14/700 2026-11-09 11:52 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 16/800 2026-11-09 11:47 by GwrQVVR6Oenx
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 15/750 2026-11-09 11:41 by GwrQVVR6Oenx
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 12/600 2026-11-09 06:32 by l48hFd8Nwae2
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-09 00:14 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-08 23:01 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 9/450 2026-11-08 22:46 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 延安大学回应“副教授留绝笔信”：确已离世，正核实举报内容 +3 yexuqing 2026-11-04 5/250 2026-11-07 13:22 by 苏东坡二世
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:12 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 7/350 2026-11-06 02:13 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 02:04 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 9/450 2026-11-06 02:02 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:53 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭