应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅刻蚀设备求推荐
汕头大学海洋科学接受调剂
51/1返回列表
查看: 3136  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[交流] 硅刻蚀设备求推荐 已有6人参与

最近在调研一些硅刻蚀的设备。但是对这方面不是很了解。
说一下我们的目的。
我们主要是想在氧化片上做二氧化硅的微结构，然后对衬底硅进行刻蚀形成二氧化硅的支撑。
也就是说，我们想刻蚀硅，但是又不想刻蚀表面的二氧化硅微结构。
实验室自己用。

老板让我调研一下ICP的相关设备。
不是很了解，求推荐一下。

看了目前几个设备。
1、Oxford  PlasmaPro 100
2、sentech ICP-RIE SI 500
3、微电子所的 ICP-8A
4、还有个日本的 Samco 牌的，没查明白哪种型号能用。
还有在小木虫搜到的帖子。http://muchong.com/html/201304/5774852.html
里面提到
北方微电子  GSE 200系列 ICP
北京东方中科集成科技股份有限公司  电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统SI500（SENTECH）
北京创世威纳科技   ICP-8100 型感应耦合等离子刻蚀设备
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

科研设备设施

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
1楼 2014-09-16 17:33:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gyxzby

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
鲁汶仪器，比利时合作公司，这两年才发展起来的，你可以看一看，他家设备目前主推科研使用，价格也亲民
赞一下 回复此楼
9楼2019-01-23 17:38:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
wj0702114081: 金币+2 2014-09-16 21:55:58
ICP的话，能刻的比较深。
如果要买进口的，肯定是买STPS，没别的选择，你上面列出来的那几家都不划算，工艺烂，设备也差。代理是香港镭射。
如果要买国产的，毫无疑问选微电子所。  北方微的太贵，创世公司太烂，没保证。
赞一下 回复此楼
2楼2014-09-16 21:26:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-16 21:26:16
ICP的话，能刻的比较深。
如果要买进口的，肯定是买STPS，没别的选择，你上面列出来的那几家都不划算，工艺烂，设备也差。代理是香港镭射。
如果要买国产的，毫无疑问选微电子所。  北方微的太贵，创世公司太烂， ...

SPTS的可能实在贵。。。
之前问过他家的二氟化氙刻蚀设备，100万左右。
ICP估计更贵了。
我联系一下问问吧。
谢谢。
赞一下 回复此楼
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
3楼2014-09-16 21:39:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

n1304385070

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
wj0702114081: 金币+3, 谢谢 2015-01-20 11:36:37
北京创世威纳的就别考虑了，我们实验室就有，特别不稳定，总出问题，基本不能用
赞一下 回复此楼
4楼2015-01-20 10:28:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 271求调剂 +30 2261744733 2026-04-11 34/1700 2026-04-13 15:24 by Kilig0317
[考研] 297工科，求调剂? +13 河南农业大学-能 2026-04-12 13/650 2026-04-13 14:12 by dingyanbo1
[考研] 材料工程085601，270求调剂 +38 @ASDF1234 2026-04-08 41/2050 2026-04-13 12:53 by 张zhihao
[考研] 366求调剂 +9 不知名的小卅 2026-04-11 9/450 2026-04-13 01:19 by 幸免 ..
[考研] 求调剂，985材料与化工348分 +9 涵竹刘 2026-04-11 13/650 2026-04-12 22:40 by 涵竹刘
[考研] 344 材料专业 求调剂211 无地域要求 +8 hualkop 2026-04-11 8/400 2026-04-12 22:24 by fqwang
[考研] 电气专硕320求调剂 +6 小麻子111 2026-04-10 6/300 2026-04-12 10:54 by lemon6009
[考研] 085410 273求调剂 +10 X1999 2026-04-09 10/500 2026-04-12 09:24 by 逆水乘风
[基金申请] 山东省基金2026 +5 jerry681 2026-04-08 6/300 2026-04-12 08:33 by kudofaye
[考研] 085500求调剂材料 +10 易11122 2026-04-09 10/500 2026-04-11 10:39 by maddjdld
[考研] 一志愿中南大学物理学，英一66，求调剂 +4 长烟旖旎 2026-04-08 5/250 2026-04-10 10:31 by 颖果儿
[考博] 博士自荐 +7 可可小胖 2026-04-08 7/350 2026-04-10 08:28 by kimhero
[考研] 材料专硕调剂 +16 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-07 17/850 2026-04-09 21:16 by wutongshun
[考研] 调剂 +19 2261744733 2026-04-08 19/950 2026-04-09 19:11 by vgtyfty
[考研] 337求调剂 +4 Gky09300550， 2026-04-09 4/200 2026-04-09 17:18 by 帕尔马拉特
[考研] 0860004 求调剂 309分 +6 Yin DY 2026-04-09 6/300 2026-04-09 10:19 by 啊李999
[考研] 一志愿西南大学生物学学硕344 求生物学相关调剂/生物与医药 +7 超人不会飞@ 2026-04-08 7/350 2026-04-09 09:35 by gong120082
[考研] 求调剂 +13 柒luck 2026-04-07 13/650 2026-04-08 22:46 by 猪会飞
[考研] 材料工程专业日语生求调剂 +9 111623 2026-04-07 9/450 2026-04-07 23:31 by 一只好果子?
[考研] 277、学硕，求调剂 数一104， +11 瓶子PZ 2026-04-07 12/600 2026-04-07 23:30 by 一只好果子?
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭