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罗军王

银虫 (初入文坛)

[求助] 二氧化硅RIE刻蚀 已有2人参与

我们有一台中科院的ME-3A型磁增强反应离子刻蚀机,现在刻蚀硅片已经对达到最优化,一分钟能达到600nm左右,但是对于石英只能几十纳米,所以跟大家交流一下刻蚀参数。我们目前使用的参数是:流量15,压强0.5Pa,功率100W,速率25nm/min
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多看多读多学习
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罗军王

银虫 (初入文坛)

用的气体为CHF3
多看多读多学习
2楼2014-06-24 10:17:40
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罗军王

银虫 (初入文坛)

怎么木有人呢
多看多读多学习
3楼2014-06-26 15:35:54
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
CHF3刻蚀SiO2
SF6刻蚀Si
调节H和F的比例控制刻蚀Si和SiO2的选择比
4楼2014-06-26 15:56:26
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罗军王

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by quanten at 2014-06-26 15:56:26
CHF3刻蚀SiO2
SF6刻蚀Si
调节H和F的比例控制刻蚀Si和SiO2的选择比

那个你们刻蚀参数呢?刻蚀速率能到达多少?
多看多读多学习
5楼2014-07-08 16:33:06
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zytsh

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by quanten at 2014-06-26 15:56:26
CHF3刻蚀SiO2
SF6刻蚀Si
调节H和F的比例控制刻蚀Si和SiO2的选择比

请问,刻蚀SiO2, 用CHF3和CF4的区别。
6楼2014-09-22 11:18:31
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


引用回帖:
6楼: Originally posted by zytsh at 2014-09-22 11:18:31
请问,刻蚀SiO2, 用CHF3和CF4的区别。...

CF4通吃,CHF3主要刻蚀SiO2
7楼2014-09-22 23:46:42
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zytsh

金虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by quanten at 2014-09-22 23:46:42
CF4通吃,CHF3主要刻蚀SiO2...

通吃指的是可以刻蚀很多材料吗?大致包括哪些呢?非常感谢
8楼2014-09-23 09:09:40
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


引用回帖:
8楼: Originally posted by zytsh at 2014-09-23 09:09:40
通吃指的是可以刻蚀很多材料吗?大致包括哪些呢?非常感谢...

Si
And sio2
9楼2014-09-25 00:06:33
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雨之长门

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

同型号RIE刻蚀机,刻蚀Si02的话CHF3的流量是65sccm,射频功率100W左右
10楼2014-10-16 22:53:59
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