24小时热门版块排行榜    

查看: 3580  |  回复: 11
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

罗军王

银虫 (初入文坛)

[求助] 二氧化硅RIE刻蚀 已有2人参与

我们有一台中科院的ME-3A型磁增强反应离子刻蚀机,现在刻蚀硅片已经对达到最优化,一分钟能达到600nm左右,但是对于石英只能几十纳米,所以跟大家交流一下刻蚀参数。我们目前使用的参数是:流量15,压强0.5Pa,功率100W,速率25nm/min
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

多看多读多学习
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

罗军王

银虫 (初入文坛)

怎么木有人呢
多看多读多学习
3楼2014-06-26 15:35:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
CHF3刻蚀SiO2
SF6刻蚀Si
调节H和F的比例控制刻蚀Si和SiO2的选择比
4楼2014-06-26 15:56:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

罗军王

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by quanten at 2014-06-26 15:56:26
CHF3刻蚀SiO2
SF6刻蚀Si
调节H和F的比例控制刻蚀Si和SiO2的选择比

那个你们刻蚀参数呢?刻蚀速率能到达多少?
多看多读多学习
5楼2014-07-08 16:33:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zytsh

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by quanten at 2014-06-26 15:56:26
CHF3刻蚀SiO2
SF6刻蚀Si
调节H和F的比例控制刻蚀Si和SiO2的选择比

请问,刻蚀SiO2, 用CHF3和CF4的区别。
6楼2014-09-22 11:18:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿武理材料工程348求调剂 +5  ̄^ ̄゜汗 2026-03-19 7/350 2026-03-22 19:44 by 公瑾逍遥
[考研] 289材料与化工(085600)B区求调剂 +3 这么名字咋样 2026-03-22 4/200 2026-03-22 17:56 by 云民大李老师
[考研] 寻找调剂 +4 倔强芒? 2026-03-21 4/200 2026-03-22 16:14 by 木托莫露露
[考研] 311求调剂 +3 26研0 2026-03-20 3/150 2026-03-22 14:46 by ColorlessPI
[考研] 269专硕求调剂 +6 金恩贝 2026-03-21 6/300 2026-03-22 14:31 by ColorlessPI
[考研] 318求调剂 +4 plum李子 2026-03-21 7/350 2026-03-22 14:17 by ColorlessPI
[考研] 303求调剂 +5 安忆灵 2026-03-22 6/300 2026-03-22 12:46 by 素颜倾城1988
[考博] 招收博士1-2人 +3 QGZDSYS 2026-03-18 4/200 2026-03-22 10:25 by QGZDSYS
[考研] 0856材料专硕353求调剂 +4 NIFFFfff 2026-03-20 4/200 2026-03-22 09:49 by 2026paper
[基金申请] 山东省面上项目限额评审 +4 石瑞0426 2026-03-19 4/200 2026-03-22 08:50 by Wei_ren
[考研] 一志愿华中科技大学071000,求调剂 +4 沿岸有贝壳6 2026-03-21 4/200 2026-03-22 07:21 by ilovexiaobin
[考研] 286求调剂 +10 Faune 2026-03-21 10/500 2026-03-21 23:34 by 314126402
[考研] 考研调剂 +3 呼呼?~+123456 2026-03-21 3/150 2026-03-21 20:04 by 无际的草原
[考研] 求调剂 +3 13341 2026-03-20 3/150 2026-03-21 18:28 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿山大07化学 332分 四六级已过 本科山东双非 求调剂! +3 不想理你 2026-03-16 3/150 2026-03-21 03:59 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华南师大 070300(化学)304分求调剂 +3 0703武芊慧雪304 2026-03-18 3/150 2026-03-21 00:48 by JourneyLucky
[考研] 295求调剂 +4 一志愿京区211 2026-03-18 6/300 2026-03-20 23:41 by JourneyLucky
[考研] 求调剂,一志愿:南京航空航天大学大学 ,080500材料科学与工程学硕,总分289分 +4 @taotao 2026-03-19 4/200 2026-03-20 22:14 by JourneyLucky
[考研] 350求调剂 +5 weudhdk 2026-03-19 5/250 2026-03-20 22:04 by luoyongfeng
[考研] 085601材料工程专硕求调剂 +10 慕寒mio 2026-03-16 10/500 2026-03-19 15:26 by 丁丁*
信息提示
请填处理意见